[实用新型]自动压力控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子加工设备技术领域，是一种保证真空室内压力稳定的自动压力控制器。

背景技术

在大多以低温等离子体为工艺手段进行微细加工的微电子技术设备中，需要在反应室中建立真空环境，并对反应室中的工艺气体压力进行控制，以保证工艺过程顺利进行。

在上游式压力控制的过程中，需要对反应室进行充气来完成对真空室中的压力进行控制，但如果所充气体不是所需工艺气体，则可能会给样品带来杂质。如果改变工艺气体的质量流量，也会影响样品的质量。

实用新型内容

为了解决现有技术存在的技术缺陷，本实用新型的目的在于提供一种一种下游式(即无需用向真空室内充入气体来调节压力的方式)自动控制真空室内气体压力的自动压力控制器。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种自动压力控制器，包括：步进电机6驱动的蝶形压力调节阀，由电容薄膜真空规作为压力传感器，蝶形压力调节阀，其中：蝶形压力调节阀包括阀体1、活动阀板2和控制单元，活动阀板2通过转轴支撑到阀体1中，步进电机6通过弹性连轴器4连接活动阀板2的转轴，磁流体密封3和弹性连轴器4相连，并共同封闭在屏蔽罩5中，弹性连轴器4上设置有触杆9和行程开关8，插头7设置在屏蔽罩5上。

由于采用上述方案后，提供了一种能安装在反应室与主抽气泵之间主抽气管道上的籍改变阀门角度来改变管道流导从而对反应室调压的下游式调压方式，无需向反应室充气即可对反应室进行调压的自动压力控制器。本实用新型在使用过程中，阀板转角-压力对应值可动态修正，控制精度高，无需制动及变速装置，结构简单、可靠性高、重复性好。

附图说明

图1为自动压力控制器阀门部分的侧视图。

图2为自动压力控制器阀门部分的主视图。

图3为自动压力控制器的工作原理流程图。

附图中标号：

1.阀体，2.活动阀板，3.磁流体密封，4.弹性连轴器，5.屏蔽罩，6.步进电机，7.插头，8行程开关，9.触杆。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型自动压力控制器的具体实施方式作进一步的说明。

下面结合图3来说明自动压力控制器的工作原理。在该控制器中采用蝶形压力调节阀，蝶形压力调节阀的上游端连接到反应室上，其下游则连接到真空抽气系统的主泵上，当阀门开启的时候就联通了反应室和真空抽气系统，从而完成抽真空；当阀门关闭的时候则断开真空室和真空抽气系统的联通。通过改变阀门角度来改变管道流导从而对反应室调压，阀门开启角度与反应室压力严格对应。该调节阀的开启/关闭是由与其相连的步进电机所驱动的，压力测量单元也就是薄膜规与真空室相连，用来测量真空室中的气压，并将测量的结果传输至压力调节单元中.在压力调节单元中将测量结果与通过压力设定单元所设定的值进行比较，将差值送入压力调节单元，通过PID运算向步进电机驱动器发出调节参数，通过驱动单元放大后来驱动步进电机动作，以便开启或关闭蝶形压力调节阀，自动完成对反应室中气压的控制。这种方式即下游控制方式，无需向反应室充气即可对反应室进行调压。其中所采用的压力传感器是电容薄膜真空规，它的耐腐蚀性和可重复性好，可对真空室进行全压强压力控制。并采用了微机数字PID控制，提高了压力的控制精度。

下面通过图1和图2来具体说明调节阀的结构，步进电机6驱动蝶形压力调节阀，蝶形压力调节阀包括阀体1、活动阀板2和控制单元，活动阀板2通过转轴支撑到阀体1中，并通过绕转轴的转动来启/闭阀门；活动阀板2被驱动单元所驱动，并在阀体1中旋转；步进电机6通过弹性连轴器4连接活动阀板2的转轴。弹性连轴器4上设置有触杆9和行程开关8；磁流体密封3和弹性连轴器4相连，并共同封闭在屏蔽罩5中；插头7设置在屏蔽罩5上。

由于采用步进电机调节阀板角度，无需制动及变速装置；其中还采用阀门转角--压力对应值现场动态即时扫描存储定标，解决当真空室在不同气载时阀门转角--压力对应值的动态修正的难题；由于采用了蝶阀作为调节阀，其结构简单可靠性高，大大降低了成本。