[实用新型]一种分子泵拖动盘无效
申请号: | 200920109391.5 | 申请日: | 2009-06-29 |
公开(公告)号: | CN201461510U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 邹蒙;李明月 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 |
主分类号: | F04D29/00 | 分类号: | F04D29/00;F04D19/04 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张建纲 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分子 拖动 | ||
1.一种分子泵拖动盘,包括盘体(1)以及呈放射状设置在所述盘体(1)上的沟槽,其特征在于:所述沟槽为等宽沟槽(2)。
2.根据权利要求1所述的分子泵拖动盘,其特征在于:所述盘体(1)上靠近所述盘体外缘(5)处还设有与所述盘体(1)同心的环形槽(4),且所述环形槽(4)与所述等宽沟槽(2)末端相通。
3.根据权利要求1所述的分子泵拖动盘,其特征在于:所述等宽沟槽(2)左右两侧壁所在的两条圆弧曲线由两条半径不同的同心圆弧构成,所述同心圆的圆心落在以所述盘体(1)的圆心为圆心的一个圆周上。
4.根据权利要求2所述的分子泵拖动盘,其特征在于:所述等宽沟槽(2)与所述环形槽(4)的槽深相等。
5.根据权利要求1所述的分子泵拖动盘,其特征在于:所述等宽沟槽(2)在所述盘体(1)上呈放射状周向均匀分布。
6.根据权利要求1所述的分子泵拖动盘,其特征在于:所述盘体(1)的一侧或两侧侧面上设有所述等宽沟槽(2)。
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