[实用新型]扩散炉自动舟升降装置

说明书

技术领域

本实用新型属于一种升降装置，具体是用于扩散炉自动舟和其他装置上的平行升降装置，帮助送料装置完成整个送料过程，保证自动舟上下运动平稳可靠，硅片无抖动。

背景技术

用于硅片加工的扩散炉设有一个送料的自动舟，或叫推拉舟。这种自动舟能自动平行往返运动，实现工件的装入和卸出。现用的自动舟一般没有自动升降功能，所以在工艺过程中影响了效率。因此，需要对其进行改进，使其更好完成送料过程。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种扩散炉自动舟升降装置。该装置较好地解决了上述技术问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种扩散炉自动舟升降装置，其特征在于：设有框架，给扩散炉送料的自动舟的导轨水平设置在框架的两个竖框上，在该两个竖框上设有从两端控制导轨上下垂直移动的垂直移动装置，在所述竖框上设有底座，底座上设有涡轮蜗杆升降机，该升降机的蜗杆上端设有支承座，该支承座固定在所述导轨的下面，左、右涡轮蜗杆升降机由一个步进电机、联轴器和传动轴动力连接。

本实用新型进一步完善和实施的补充方案是：

所述垂直移动装置由支架、光杠、直线轴承、轴承座和限位块构成，光杠通过支架固定在框架的竖框上，限位块固定在光杠的上、下两端，直线轴承滑动地套在光杠上，直线轴承外面的轴承座与导轨固定连接。

本实用新型的升降装置，其涡轮蜗杆传动，能保证整个系统的升降平稳。步进电机、联轴器和传动轴将步进电机的输出力传输到升降机上，再将两个升降机用一根传动轴串联在一起，从而实现联动，最终实现两个涡轮蜗杆升降机同步运动，合理分配受力。支承座将涡轮蜗杆升降机和送料装置连接为一个整体，直线滚动装置起升降过程中的导向作用，采用的是滚动摩擦，保证在上升和下降过程中的摩擦力为最小，保证光杠和升降机平行。在行程的两端还装有两个机械限位，防止误动作时出现危险。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的垂直运动装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：实施例：参见附图，扩散炉自动舟升降装置，一种扩散炉自动舟升降装置，设有框架1，给扩散炉送料的自动舟2的导轨3水平设置在框架的两个竖框1.1、1.2上，在该两个竖框上设有从两端控制导轨上下垂直移动的垂直移动装置4.1、4.2，在所述竖框上设有底座5.1、5.2，底座上设有涡轮蜗杆升降机6.1、6.2，该升降机的蜗杆上端设有支承座7.1、7.2，该支承座固定在所述导轨的下面，左、右涡轮蜗杆升降机由一个步进电机、联轴器和传动轴8动力连接。所述垂直移动装置由支架4.11、光杠4.12、直线轴承4.13、轴承座4.15和限位块4.14构成，光杠通过支架固定在框架的竖框上，限位块固定在光杠的上、下两端，直线轴承滑动地套在光杠上，直线轴承外面的轴承座与导轨固定连接。

本实施例经试用效果非常好。