[实用新型]基板载台有效
| 申请号： | 200920110211.5 | 申请日： | 2009-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN201464755U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 白国晓;齐铮 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 曲鹏 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板载台 | ||
1.一种基板载台，包括台板、用于监测台板姿态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置，其特征在于，所述姿态传感装置包括液体水平器和液位传感器，所述液体水平器内装设有导电液体，根据所述导电液体的液面变化发送控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上。
2.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述液体水平器设置在所述台板的下方，并位于所述台板的中心线上。
3.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述液体水平器为下端通过圆环相互连通的两个U形管，两个U形管的四个上端部分别位于台板的四个角部。
4.根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述液位传感器设置在所述U形管的上端部，位于液面的上方和/或下方。
5.根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述U形管为有机玻璃制品。
6.根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述U形管的端部还设置有刻度。
7.根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述U形管的直径为8mm～12mm。
8.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述导电液体为盐水。
9.根据权利要求1～8中任一权利要求所述的基板载台，其特征在于，所述姿态控制装置连接在所述台板的角部，包括减震器和控制器，所述减震器设置有与所述控制器连接的进气阀门和出气阀门，所述控制器与液位传感器连接。
10.根据权利要求1～8中任一权利要求所述的基板载台，其特征在于，所述台板下还设置有限位开关。
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