[实用新型]一种水冷微波发生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种微波发生装置，更具体地说，涉及一种水冷微波发生装置。

背景技术

近年来，微波放电已经发展成为气体放电物理和技术研究中的新兴领域，并得到了广泛的应用，高气压、高温微波放电被用于等离子体切割、冶金、喷涂等热处理方面；低气压、低温微波放电被用于等离子体镀膜、刻蚀、表面清洗等方面。因此，微波等离子体技术的研究已成为国内大专院校作为近代物理，特别是材料物理的重要研究课题之一。而微波等离子体实验装置也逐渐应用于大专院校物理实验教学之中。该装置中的核心部件微波源即微波发生装置由磁控管、高压变压器、高压电容器、高压二极管构成。微波发生装置中，磁控管的阳极采用风冷并通过散热片冷却，但由于磁铁固定在阳极散热片上下两端，磁控管工作时散热片的温度高达150℃左右，如此高的温度导致磁场下降，从而引发阳极电压Ua下降及阳极电流Ia的增加。这一后果将使磁控管的功率降低，经实验发现，磁控管工作几分钟后输出功率将下降60W～100W，工作时间越长，功率损耗越大；微波发生装置中的高压变压器在工作1小时后，其铁芯表面温度已超过100℃以上，而利用微波等离子体实验装置进行金刚石镀膜实验时的时间需2～3小时，这将使高压变压器的使用寿命大大缩短，同时，也直接影响了整个微波等离子体实验装置的可靠性及工作寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的是克服现有技术的缺点，提供一种结构简单、性能可靠、使用寿命长的微波发生装置。

本实用新型的技术问题通过以下技术方案予以实现：

本实用新型包括磁控管、高压变压器、高压电容器、高压二极管，所述的磁控管和高压变压器配置有相应的水冷却机构。

本实用新型所述的磁控管配置的水冷却机构包括磁控管散热金属块及卡块，所述的磁控管散热金属块及卡块安置在磁控管中的上下两块磁铁与磁铁之间并且环抱于磁控管的阳极，所述的磁控管散热金属块及卡块之间安装有紧固装置，所述的紧固装置可以是固定板，利用顶紧螺钉将卡块紧贴磁控管的阳极，所述的磁控管散热金属块上装有出水接口和进水接口，出水接口和进水接口外接水冷却皮管，磁控管散热金属块内的出水接口与进水接口连通。

本实用新型所述的高压变压器配置的冷却机构包括变压器散热金属块，所述的变压器散热金属块上装有变压器散热出水接口和变压器散热进水接口，变压器散热出水接口和变压器散热进水接口外接水冷却皮管，变压器散热金属块内的变压器散热出水接口与变压器散热进水接口连通，所述的高压变压器铁芯下部焊装安装铁板，安装铁板的下部固定有变压器散热金属块。

与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果：

通过本实用新型的实现，微波发生装置在连续工作的状态下，磁控管及高压变压器所散发的温度始终保持在60℃以下，从而使磁控管的功率输出保持在最佳状态，高压变压器不易损坏，保证了微波发生装置能长时间地正常工作，同时也提高了整个微波等离子体实验装置及其它安装有微波发生装置设备的可靠性及工作寿命。

附图说明

图1是微波发生装置电原理示意图；

图2是本实用新型水冷磁控管主视示意图；

图3是图2的右视局部剖视示意图；

图4是图2的俯视局部剖视示意图；

图5是磁控管散热金属块结构示意图；

图6是图5的右视示意图；

图7是卡块结构示意图；

图8是图7的右视示意图；

图9是本实用新型水冷高压变压器主视示意图；

图10是图9的右视示意图；

图11是变压器散热金属块结构示意图；

图12是图11的俯视示意图。

图中：1是磁铁，2是固定螺钉，3是出水接口，4是磁铁，5是固定板，6是进水接口，7是顶紧螺钉，8是磁控管电源插口，9是磁控管散热金属块，10是卡块，11是高压变压器铁芯，12是变压器散热金属块，13是变压器散热出水接口，14是变压器散热进水接口，15是安装铁板，16是微波输出管。

具体实施方式

下面结合附图与实施方式对本实用新型作进一步详细描述：