[实用新型]一种真空内镀膜机无效
申请号: | 200920117789.3 | 申请日: | 2009-04-20 |
公开(公告)号: | CN201386133Y | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
发明(设计)人: | 徐伟 | 申请(专利权)人: | 徐伟 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 324400浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 镀膜 | ||
【权利要求书】:
1、一种真空内镀膜机,包括真空机组、若干个工作室,其特征在于若干个工作室共同通过真空管路与真空机组相通连,并在真空管路上分别设置有若干个转换阀;若干个工作室之间通过空气管道相互通连,并在空气管道上设置有连通阀。
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