[实用新型]直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置

权利要求书

1.一种直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，它主要由直流辉光放电机构及冷阴极荧光管工作机构组成，其特征在于，所述直流辉光放电机构至少包括有一低压放电管(4)，所述低压放电管(4)相连着真空系统和配套工作电路及测量电路；所述冷阴极荧光管工作机构至少包括有冷阴极荧光管，所述冷阴极荧光管相连着真空系统和配套工作电路及测量电路。

2.根据权利要求1所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述直流辉光放电机构和冷阴极荧光管工作机构的真空系统可为共用的一个。

3.根据权利要求2所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述真空系统至少包括有控制气体流入量的隔膜阀(13、14)、针孔微调阀(15)、气体流量计(17、18)；测量低压放电管(4)及冷阴极荧光管(23、24)工作气压的电阻真空计(16)、水银气压计(22)及对系统抽真空的真空泵(19)。

4.根据权利要求1所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述低压放电管(4)内置有放电阳极(3)、放电阴极(5)和3支测试探针(9、10、11)；所述放电阴极(5)的轴向移动距离为0～120mm。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述低压放电管(4)的两端分别安装有金属套筒(2、6)，金属套筒(2、6)上分别安装有散热片(1)，金属套筒(6)置有一抽气口(8)与真空系统连接。

6.根据权利要求1所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述直流辉光放电机构中的配套工作电路及测量电路至少包括有高压变压器(26)、自耦变压器(27)、整流二极管D1～D4、电容C1，低压放电管(4)相连组成直流辉光放电电路；由电压表(28)、直流微安表(29)、直流毫安表(30)、直流微安表(31)、直流电压表(32)、电源E、测量探针(9、10、11)相连组成直流辉光放电电流、伏安特性、等离子体空间电场、电子温度的测量电路。

7.根据权利要求1所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述冷阴极荧光管为二支管径、长度不同的且一端置有一抽气兼充气口(25)，其内充入Ar氩气、Ne氖气、Xe氙气或空气至少一种气体的冷阴极荧光管(23、24)。

8.根据权利要求7所述的直流辉光放电等离子体及冷阴极荧光管实验装置，其特征在于，所述抽气兼充气口(25)与真空泵(19)连接，并分别通过气体流量计(17、18)与气源接口(20、21)连接。