[实用新型]带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉有效
| 申请号： | 200920122503.0 | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201459276U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;张俊;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 上虞晶盛机电工程有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 唐银益 |
| 地址： | 312364 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水冷 直拉式硅单晶 生长 | ||
【权利要求书】：
1.一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉，包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；其特征在于，在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备，水冷夹套内部为冷却水流动的通道，并设进水管和出水管。
2.根据权利要求1所述的直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，所述水冷夹套的上部设置与生长炉的炉口相配合的法兰。
3.根据权利要求2所述的直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，所述水冷夹套上的进水管和出水管均设于其上部的法兰处。
4.根据权利要求1至3所述的任意一种直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，所述水冷夹套的安装位置为：其最底端距离石英坩埚中熔液液面100～500mm。
5.根据权利要求1至3所述的任意一种直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，所述水冷夹套的内径为150～400mm。
6.根据权利要求1至3所述的任意一种直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，生长炉上设置有CCD观察窗口，所述水冷夹套下部在与CCD观察窗口视角相对应的位置设置椭圆形开口。
7.根据权利要求1至3所述的任意一种直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，所述水冷夹套是不锈钢的中空夹套设备。
8.根据权利要求1至3所述的任意一种直拉式硅单晶生长炉，其特征在于，所述水冷夹套内部设置若干水道隔板。
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