[实用新型]大样品大范围高分辨原子力显微检测装置

权利要求书

1.一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置，其特征在于包括压电瓷扫描探头(1)、光学平台(2)、Y向步进电控平移台(3)、样品台(4)、待测样品(5)、第一固定块(6)、第二固定块(7)、第一支撑柱(8)、第二支撑柱(9)、支撑梁(10)、X向步进电控平移台(11)、滑动块(12)、L形固定块(13)；在光学平台(2)上两侧分别设有第一固定块(6)、第二固定块(7)，在光学平台(2)上设有Y向步进电控平移台(3)，第一固定块(6)上设有第一支撑柱(8)，第二固定块(7)上设有第二支撑柱(9)，Y向步进电控平移台(3)上设有样品台(4)，第一支撑柱(8)、第二支撑柱(9)上端设有支撑梁(10)，在支撑梁(10)上方安装X向步进电控平移台(11)，滑动块(12)安装在X向步进电控平移台(11)上，滑动块(12)下方设有L形固定块(13)，L形固定块(13)上安装有压电瓷扫描探头(1)。

2.根据权利要求1所述的一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置，其特征在于所述的压电陶瓷扫描探头(1)包括位置敏感元件(14)、第一小透镜(15)、光电探测筒(16)、半导体激光器(17)、X轴压电陶瓷(18)、Y轴压电陶瓷(19)、Z轴压电陶瓷(20)、横梁(21)、第三固定块(22)、第二小透镜(23)、方形固定块(24)、第四固定块(25)、微悬臂-探针(26)；第三固定块(22)上垂直固定有横梁(21)，在横梁(21)上从右到左依次安装有位置敏感元件(14)和第一小透镜(15)构成的光电探测筒(16)，半导体激光器(17)以及三根相互垂直的X轴压电陶瓷(18)、Y轴压电陶瓷(19)和Z轴压电陶瓷(20)，第二小透镜(23)固定在方形固定块(24)右侧，固定块(24)的后侧、左侧及上侧分别与X轴压电陶瓷(18)、Y轴压电陶瓷(19)和Z轴压电陶瓷(20)相连，固定块(24)的下侧与第四固定块(25)连接，固定块(25)下面安装微悬臂-探针(26)。