[实用新型]激光刻划跟随除尘装置

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及薄膜太阳能电池芯片制造技术，尤其是可排除废气和粉尘的除尘装置。

【背景技术】

随着现代工业的高速发展，技术快速的更新换代以及对能源的需求，现在能源结构正在发生着根本性的变革。传统的能源：煤炭、石油、天然气使用量将在2020年-2040年到达高峰，而在2050年后将会逐渐枯竭。替代能源，可再生能源(主要是太阳能)从2000年开始迅猛发展，预计到2050年使用量将达到高峰。传统太阳能电池是使用单晶硅或多晶硅薄片，其硅材料应用较多，浪费严重，硅元素提纯工艺复杂且成本太高。薄膜太阳能电池使用非晶硅或其他材料，硅元素使用量很少或不使用硅材料，所以基本无原料瓶颈。尤其是非晶硅薄膜太阳能电池，成本低，且工艺成熟，所以发展很快，成为目前薄膜太阳能电池最成熟的产品之一。

如图1所示，非晶硅薄膜太阳能电池是在低成本基板1(主要是玻璃)上沉积、溅射薄膜而成，这种非晶硅薄膜太阳能电池在基板1上共有三层：电极2、非晶硅(a-Si)3和电极4。非晶硅薄膜太阳能电池芯片的刻划是通过激光来实现的，激光刻划是根据这种非晶硅薄膜太阳能电池的制作工艺过程，分别在不同的工艺时段选用不同波长的激光设备进行刻划，非晶硅薄膜太阳能电池共有三层，所以需要进行三次刻划才能完成整个制作过程。

每一次刻划都会产生废气和灰尘，如果不能及时将这些废气和灰尘排除，就会发生废气和灰尘污染薄膜太阳能电池芯片的现象，形成次品或废品，既降低了生产效率又造成浪费。

【实用新型内容】

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可排除废气和粉尘的除尘装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种激光刻划跟随除尘装置，包括可对着激光器并可与激光器同步运动的除尘口，除尘口与激光器分列太阳能电池芯片的两侧，除尘口连接吸尘系统。

本实用新型适用于激光器位于玻璃基板背向薄膜的一侧的情形。激光器刻划玻璃基板上的薄膜时，产生的废气和粉尘在玻璃基板背向激光器的一侧，连接吸尘系统的除尘口是对着激光器的，可及时将废气和灰尘排除。

在此基础上，进一步地：

为了保证除尘口排除废气和灰尘的良好效果，设置驱动除尘口的驱动机构和可根据激光器工作状态控制驱动机构的控制机构。这样，可以在激光器准备刻划时再控制驱动机构工作。

作为本实用新型的改进，设置与控制机构电性连接的对准机构。在激光器移动之前就控制除尘口对准激光器以使除尘口的中心轴线与激光器发出的激光束重合，这样有利于提高吸尘效果。

作为一种具体形式，对准机构包括感应片和光电开关，光电开关与控制机构电性连接，感应片和光电开关二者中的一个位置固定、另一个与除尘口同步运动。

可以设置承载除尘口的除尘口安装板，驱动机构包括动力源和动力传送件，动力传送件分别与动力源和除尘口安装板形成传动配合。

动力源可选用电机，动力传送件可选用同步带或链条。

本实用新型的有益效果是：在激光刻划过程中及时跟随除尘，降低废气和灰尘对电池芯片造成污染的可能性，减少次品或废品的发生率，提供生产效率，避免浪费，降低生产成本。

【附图说明】

下面通过具体实施方式并结合附图，对本实用新型作进一步的详细说明：

图1是太阳能电池芯片沿厚度方向的剖视示意图；

图2是本实用新型一种具体实施方式的立体示意图；

图3是图2的主视图；

图4是图2所示除尘装置在工作状态下结合激光器200和太阳能电池芯片300的示意图。

【具体实施方式】

图2和图3示出了本实用新型的一种具体实施方式。

如图2所示，该除尘装置包括控制单元(附图中未示出)和机架100；机架100的两端分别固定有安装板5，电机安装板6位于机架100的一端，机架100的左端装设有一个同步带轮7，安装在电机安装板6上的同步电机8的输出轴上安装有另一个同步带轮7，同步带9与两个同步带轮7相配合；排烟管安装板10的两端固定有连接块11，同步带9的两端分别连接两个连接块11，两个排烟管12固定在排烟管安装板10上，排烟管12的下端为除尘口121，排烟管12的上端与吸尘系统(附图中未示出)连通，机架100上的导轨13对排烟管安装板10的运动起导向作用；机架100上设有两个光电开关14，排烟管安装板10上固定有与光电开关14相适配的感应片15；两个光电开关14、同步电机8分别与控制单元电性连接。