[实用新型]多固支梁圆膜式力传感器

说明书

技术领域：

本实用新型涉及力传感器的结构设计，尤其是圆膜式力传感器的结构设计。

背景技术：

当今市场上有许多带硬中心圆膜式测力传感器，尺寸较小，但大多精度不高，线性差，对安装要求非常高，对位置敏感。而圆形轮辐式测力传感器精度高，但尺寸大，带上下盖板，工艺比较复杂。因而急需一种尺寸小，精度高的产品来满足市场要求。

发明内容：

本实用新型的目的在于提供一种尺寸小，精度高的带硬中心的多固支梁圆膜式力传感器

它包括顶部中心设有凸起硬中心的圆形弹性体；圆形弹性体圆膜上围绕硬中心设置多个相互对称的沟槽；沟槽形成的固支梁下表面设置有电阻应变感应元件。

沟槽的个数为偶数。

沟槽的形状可以是一字型或L型。

本实用新型产品外形尺寸小，使用方便，通过硬中心加工螺纹，可以做成拉压两用力传感器。量程范围比较宽。精度高，对安装要求小，力点位置变化造成误差小。密封简单，不需要盖板密封，直接封胶，而且由于沟槽的间隙小，具有更好的防护性能。

附图说明：

附图1是本实用新型实施例1的主视图；

附图2是本实用新型实施例2的主视图；

附图3是本实用新型实施例1的俯视图；

附图4是本实用新型实施例2的俯视图。

具体实施方式：

本实用新型的顶部中心设有凸起硬中心(3)的圆形弹性体(1)；圆形弹性体(1)圆膜上围绕硬中心设置多个相互对称的沟槽(4)；沟槽(4)形成的固支梁下表面设置有电阻应变感应元件(2)。沟槽(4)的个数为偶数。沟槽(4)的形状可以是一字型或L型或其它形状。

实施例1采用的是双一字形沟槽(4)，实施例2采用的是四个L型沟槽(4).

本实用新型利用带硬中心(3)多固支梁中心受力变形原理，通过在圆形弹性体(1)上，围绕硬中心(3)线切割两条平行沟槽(4)或四个L型沟槽(4)，如图1、图3和图2、图4，做成多固支梁，将两条一字型沟槽(4)做成双固支梁，四个L型沟槽(4)做成四固支梁.在固支梁的两端下表面通过工艺装上电阻应变感应元件(2)，如金属应变计、半导体应变计以及硅阻压阻等，将电阻应变感应元件连成标准力传感器桥路，当施加力到电阻应变感应元件(2)的硬中心(3)时，多固支梁两端产生相反的形变，此时装在两端的电阻应变感应元件(2)电阻产生相反的大小变化，通过桥路将电阻变化转化成电压信号变化，而电压信号变化与施加力的大小成正比关系，达到检测力值的作用.