[实用新型]硅材料酸腐蚀综合处理装置有效
| 申请号： | 200920135241.1 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN201376997Y | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 余仲;黄进权 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518103广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 材料 酸腐 综合 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于包括：主槽(1)、副槽(2)和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵(3)，所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀(4)，外槽底部分别设置有排酸阀(5)和排水阀(6)，排酸阀(5)排出的酸液导入副槽(2)中，所述的主槽顶部设置有防护盖(7)、喷淋装置(8)和进水管(9)。
2、根据权利要求1所述的硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于：所述内槽上部设置有排酸气的抽风口(10)。
3、根据权利要求1所述的硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于：所述副槽中设置有冷却酸液的冷却装置。
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