[实用新型]紫外激光光束整形装置有效
| 申请号： | 200920135606.0 | 申请日： | 2009-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN201373947Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 高云峰;翟学涛;冯广智;雷群 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 光束 整形 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种紫外激光光束整形装置，包括紫外激光光源、聚焦系统，其特征在于，还包括扩束镜、光束整形镜，所述扩束镜置于紫外激光光源出光面口，紫外激光经扩束镜扩束后入射紧随的光束整形镜，再进入聚焦系统。
2、根据权利要求1所述的紫外激光光束整形装置，其特征在于，所述扩束镜为伽利略望远镜系统。
3、根据权利要求1所述的紫外激光光束整形装置，其特征在于，所述光束整形镜为非球面折射透镜组。
4、根据权利要求1所述的激光光束整形装置，其特征在于，所述光束整形镜包括：用以改变光束能量分布并按照折射定律偏折光束的第一透镜组和用以准直被所述偏折光束的第二透镜组。
5、根据权利要求4所述的激光光束整形装置，其特征在于，所述光束整形镜使放大率沿垂直光轴的方向非均匀改变，靠近轴线的放大率较大，远离轴线的放大率较小。
6、根据权利要求1所述的激光光束整形装置，其特征在于，还包括圆形孔阑，经光束整形后的激光通过所述的圆形孔阑，再进入聚焦系统。
7、根据上述任一权利要求所述的紫外激光光束整形装置，其特征在于，所述紫外激光光源为三倍频的全固态激光器或紫外准分子激光器。
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