[实用新型]二维图形圆度测量装置无效
申请号: | 200920147797.2 | 申请日: | 2009-04-14 |
公开(公告)号: | CN201387316Y | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
发明(设计)人: | 王为农;位恒政;任国营;裴丽梅;苏永昌;郑庆国;王自军 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京振安创业专利代理有限责任公司 | 代理人: | 祁纯阳 |
地址: | 10001*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二维 图形 测量 装置 | ||
1.一种二维图形圆度测量装置,包括底座(1)、底座(1)上有可调节位置和倾斜功能的设旋转台(2)和调节支撑(3),其特征在于旋转台(2)上设有载物台(4),调节支撑(3)上设有可调节位置并位于载物台(4)下方的下照明光源(5),显微成像装置(7)和图象传感器(8)设于载物台(4)上方,图象传感器(8)接数据处理装置(9)。
2.根据权利要求1所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的显微成像装置(7)为低倍物镜。
3.根据权利要求1所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的显微成像装置(7)为高倍物镜。
4.根据权利要求1或2或3所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的载物台(4)上方设有上照明光源(6)。
5.根据权利要求4所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的上照明光源(6)与显微成像装置(7)同轴设置。
6.根据权利要求5所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的下照明光源(5)与上照明光源(6)可同轴设置。
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