[实用新型]二维图形圆度测量装置无效

专利信息
申请号: 200920147797.2 申请日: 2009-04-14
公开(公告)号: CN201387316Y 公开(公告)日: 2010-01-20
发明(设计)人: 王为农;位恒政;任国营;裴丽梅;苏永昌;郑庆国;王自军 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 北京振安创业专利代理有限责任公司 代理人: 祁纯阳
地址: 10001*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 二维 图形 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种二维图形圆度测量装置,包括底座(1)、底座(1)上有可调节位置和倾斜功能的设旋转台(2)和调节支撑(3),其特征在于旋转台(2)上设有载物台(4),调节支撑(3)上设有可调节位置并位于载物台(4)下方的下照明光源(5),显微成像装置(7)和图象传感器(8)设于载物台(4)上方,图象传感器(8)接数据处理装置(9)。

2.根据权利要求1所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的显微成像装置(7)为低倍物镜。

3.根据权利要求1所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的显微成像装置(7)为高倍物镜。

4.根据权利要求1或2或3所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的载物台(4)上方设有上照明光源(6)。

5.根据权利要求4所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的上照明光源(6)与显微成像装置(7)同轴设置。

6.根据权利要求5所述的二维图形圆度测量装置,其特征在于所述的下照明光源(5)与上照明光源(6)可同轴设置。

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