[实用新型]一种硅片旋转甩干装置有效

专利信息
申请号: 200920150860.8 申请日: 2009-06-10
公开(公告)号: CN201488476U 公开(公告)日: 2010-05-26
发明(设计)人: 耿彪 申请(专利权)人: 耿彪
主分类号: F26B5/08 分类号: F26B5/08
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 黄家俊
地址: 101101 北京市通州*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 旋转 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种机械装置,尤其涉及一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅片旋转甩干装置。

背景技术

传统的装置具有以下的不足之处:1)干燥程度不彻底、不全面;2)成本较高、性价比不高。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷,本实用新型提供一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅片旋转甩干装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种硅片旋转甩干装置,包括一槽体,该槽体中心位置具有一旋转轴,该旋转轴自上而下设有轴承、花篮,所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接,该同步带轮上缠绕有同步带,所述槽体的左方设有一花篮。

所述轴承设于轴承座,所述花篮设于花篮托盘内。

由于采用了上述技术方案,本实用新型具有如下的有益效果:

干燥程度更加全面、更加彻底;制造成本更加低廉,性价比大大提升。

附图说明

图1是本实用新型的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

一种硅片旋转甩干装置,包括一槽体,该槽体中心位置具有一旋转轴,该旋转轴自上而下设有轴承、花篮,所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接,该同步带轮上缠绕有同步带,所述槽体的左方设有一花篮。

所述轴承设于轴承座,所述花篮设于花篮托盘内。

本实用新型的优点在于:干燥程度更加全面、更加彻底;制造成本更加低廉,性价比大大提升。

显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。

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