[实用新型]硅片真空吸附装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片的吸附装置。具体涉及一种硅片真空吸附装置。

背景技术

真空吸附：真空吸附是当把硅片放置于吸盘上以后，用真空泵抽出吸盘空腔内的空气，形成负压，使空腔内的气体与外界的大气压形成气压差，利用该气压差夹持硅片。之后，对夹紧的硅片进行烘干处理，烘干之后关闭真空泵，气压差为零，硅片被松开。但这种装置容易出现气路不畅，吸附力不强，吸盘上的吸附力不均匀的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种气路通畅，吸附力强，吸盘上的吸附力均匀的硅片真空吸附装置。

为了达到上述目的，本实用新型有如下技术方案：

本实用新型的一种硅片真空吸附装置，包括机架、固定在机架上的电机、与电机连接的传动带和带轮、万向轴承、真空泵、与真空泵连接的吸附件，该吸附件包括半空心轴、密封器、吸盘，其中，半空心轴的一个端部与吸盘连接，半空心轴的另一个端部固定在带轮上，所述密封器套在半空心轴上的螺旋气孔处，万向轴承套在半空心轴的上部。

其中，所述半空心轴的空心为轴的三分之二以内，所述螺旋气孔开在半空心轴的空心部位的底部。

其中，所述密封器包括套管、端盖、轴承、密封圈，轴承和密封圈位于套管的两端，端盖固定在套管的顶部和底部，在套管的侧面开有一个与真空泵连接的孔。

其中，所述吸盘由开有空腔的吸盘底座和开有气孔的吸盘头经过焊接而成。

其中，所述半空心轴采用不锈钢制成。

由于采取了以上技术方案，本实用新型的优点在于：

1本实用新型的轴做成半空心轴，并在其上开螺旋气孔，形成了气的通畅路径；增大真空气泵通过密封器与半空心轴相连接处的气流流量，保证了真空吸附的吸附力。2本实用新型的吸盘底座开空腔可以增加吸盘的气室面积，使吸附力更加均匀，减小吸附力出现大小不均的现象。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、带轮；2、半空心轴；3、PP卡头；4、密封圈；5、端盖；6、吸盘座；7、吸盘头；8、PP螺钉；9、轴承；10、万向轴承；11、电机；12、传动带；13、螺旋气孔；14、套管。

具体实施方式

以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

参见图1，本实用新型的一种硅片真空吸附装置，由机架、带轮1、半空心轴2、密封器、吸盘、万向轴承10、电机11、传动带12、半空心轴2上的螺旋气孔13组成，其中，电机固定在机架上，该电机11与传动带12连接，传动带12与带轮1连接，带轮1与半空心轴2连接，万向轴承10套在半空心轴2的上部并与机架连接；密封器由套管14、PP(聚丙烯)卡头3、密封圈4、端盖5、轴承9、PP(聚丙烯)螺钉8组成，密封器的套管14套在半空心轴2上的螺旋气孔13处，轴承9和密封圈4位于套管14的两端，端盖5通过PP螺钉8固定在套管14的顶部和底部，在套管14的侧面开有一个与真空泵连接的孔，通过PP卡头3与真空泵连接；吸盘由开有空腔的吸盘底座6和开有气孔的吸盘头7经过焊接而成；半空心轴2的空心为轴的三分之二，螺旋气孔13开在半空心轴的2空心部位的底部。

本实用新型使用时：

1)综合考虑半空心轴2的强度，耐腐蚀性问题，其材料选择为不锈钢。轴做成空心、开螺旋气孔13是为了形成气的通路。螺旋气孔13开在半空心轴2的最底部是为了防止空心过长而使气体形成半密闭气室，导致气体的回流，从而影响吸附作用。

2)开螺旋气孔13好处还包括增大真空气泵通过密封器与半空心轴2相连接处的气流流量，保证真空吸附的吸附力。在密封器两端加轴承9和密封圈4可以保证密封器与半空心轴2、真空泵相连时的密封性。密封器固定在机架上。

3)吸盘座6开空腔可以增加吸盘的气室面积，使吸附力更加均匀，减小吸附力出现大小不均的现象。气孔的大小和多少，可以根据硅片的规格确定，最终起吸附硅片的作用。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。