[实用新型]铜箔改质装置有效
申请号: | 200920156266.X | 申请日: | 2009-06-18 |
公开(公告)号: | CN201420093Y | 公开(公告)日: | 2010-03-10 |
发明(设计)人: | 林志铭;向首睿;李建辉;周文贤 | 申请(专利权)人: | 昆山雅森电子材料科技有限公司 |
主分类号: | C22F1/08 | 分类号: | C22F1/08 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程 伟;王锦阳 |
地址: | 215300江苏省昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜箔 装置 | ||
1、一种铜箔改质装置,其特征在于,包括:
加热区;
输送单元,用以输送该铜箔;
第一热处理单元,用以在该加热区热处理该输送单元所输送至该 加热区的铜箔;以及
温控单元,连接至该第一热处理单元以控制温度。
2、根据权利要求1所述的铜箔改质装置,其特征在于:该输送单 元包括放卷轴、收卷轴及至少一设于该放卷轴及收卷轴之间的滚轮。
3、根据权利要求2所述的铜箔改质装置,其特征在于:该第一热 处理单元设置于该输送单元所输送至加热区的铜箔的侧面。
4、根据权利要求1所述的铜箔改质装置,其特征在于:还包括降 温区,以容纳该经热处理的铜箔。
5、根据权利要求4所述的铜箔改质装置,其特征在于:还包括与 该第一热处理单元相邻设置的第二热处理单元以交互地进入该降温区 中。
6、根据权利要求5所述的铜箔改质装置,其特征在于:该输送单 元包括放卷轴、收卷轴及至少一设于该放卷轴及收卷轴之间的滚轮, 该滚轮用以令该铜箔进入降温区中。
7、根据权利要求6所述的铜箔改质装置,其特征在于:还包括第 三热处理单元,连接该第一热处理单元及第二热处理单元以交互地进 入该降温区中。
8、根据权利要求1至7中任一所述的铜箔改质装置,其特征在于: 该第一及第二热处理单元为定向加热器。
9、根据权利要求8所述的铜箔改质装置,其特征在于:该第一及 第二热处理单元为红外线定向加热器。
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