[实用新型]射频离子电源

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种电源技术领域，具体的说是一种射频离子电源。

背景技术：

现有的射频电源技术采用它激式石英晶体稳频，功率输出采用金属陶瓷四极管FU-100F。电子管与电缆之间采用匹配网络。电缆与负载之间，由匹配箱来实现匹配。由于电源的工作与负载的匹配连接完全是由电源与负载之间加装匹配箱来完成负载之间的匹配。匹配的性能好坏直接影响到生产中镀膜的质量、由于设备中电极参数不断的发生变化致使匹配性能难于控制，使操作工的操作难度增加，同时产品质量也难以得到保证。

发明内容：

本实用新型的目的旨在改进背景技术之不足而提供一种全自动控制的，能够有效提高产品加工质量的自匹配射频离子电源。

本实用新型采用如下技术方案：

一种射频离子电源，包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，稳压滤波电路，藕合输出电路，所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与藕合输出电路连接，该藕合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。

采用上述技术方案的本实用新型与现有技术相比，所设置的推挽放大自激振荡电路，由电容提供正反馈信号，并通过电子管进行功率放大，实现电源与设备间的阻抗匹配；该电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，且能够在较高的真空度下并且在高功率下轰击，镀膜夹具不粘晶片，对高频晶片的镀膜效率有很大的提高；增设的静电除尘器完全消除工作过程中由于静电的影响造成的粘附现象。

作为本实用新型技术方案的进一步改进，所述藕合输出电路中输出高频信号，其输出线圈(L₂)与设备负载之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。

作为本实用新型技术方案的进一步改进，所述的静电除尘器与可调电源并联后再与推挽放大自激振荡电路连接。

作为本实用新型技术方案的进一步改进，所述的推挽放大自激振荡电路中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管(Q₁)和第二高频功率电子管(Q₂)，所述第一高频功率电子管(Q₁)与第二高频功率电子管(Q₂)的阳极之间串接有电感线圈(L₁)，该电感线圈(L₁)分别与电容(C₁)和电容(C₂)的一端并联，该电容(C₁)另一端与电感(L₃)并接后与第一高频功率电子管(Q₁)的栅极连接，所述电容(C₂)的另一端与电感(L₄)并接后与第二高频功率电子管(Q₂)的栅极连接。

附图说明：

图1是本实用新型的电路方框图。

图2是本实用新型的电路原理图。

具体实施方式：

下面结合附图及实施例详述本实用新型：

一种射频离子电源，参见附图1和附图2，由可调电源电路1，推挽放大自激振荡电路2，藕合输出电路3，设备负载4，静电除尘器5，稳压滤波电路6，输出电缆7，电流指示电路8组成。

可调电源电路1对功率、电压进行调节，可调电源电路1的输出端连接有静电除尘器5和电流指示电路8，静电除尘器5的另一端与推挽放大自激振荡电路2连接，推挽放大自激振荡电路2的另一端通过稳压滤波电路6与推挽放大自激振荡电路2连接，藕合输出电路3的另一端通过输出电缆7接设备负载4的上电极，设备负载4发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路3。

藕合输出电路3中输出高频信号，其输出线圈L₂与设备负载4之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。

静电除尘器5中的电容C₇与可调电源电路1并联后再与推挽放大自激振荡电路2连接。