[实用新型]具恒温控制的光阻液调配槽

权利要求书

1、一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；其中，本体上开设有一供光阻液输入且与容置空间连通的第一入口，一供调合溶剂输入的第二入口，一可将回收的光阻液导入的导入口，以及一供调配完成的光阻液输出的输出口；另外，搅拌装置具有一设于本体上的驱动单元，一受该驱动单元连动且伸置容置空间内的传动轴，以及复数设于该传动轴上的搅拌叶片；其特征在于：

所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元，一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷却装置。

2、如权利要求1所述的具恒温控制的光阻液调配槽，其特征在于：所述冷却装置具有一包覆于本体外的槽体，以及充填于本体与槽体间的冷却液，而前述槽体上开设有供冷却液出入的进水口、出水口。

3、如权利要求1所述的具恒温控制的光阻液调配槽，其特征在于：所述冷却装置具有一储放冷却剂的桶体，以及一与该桶体连接且包覆于本体外的冷凝管，而前述冷却剂流经冷凝管内。