[实用新型]一种带环状盖体的坩埚模具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种坩埚模具，特别是涉及一种带环状盖体的坩埚模具，属于坩埚炉技术领域。

背景技术

单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加，单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势，制作单晶硅棒所使用的坩埚的需求量也快速增加。现在制作坩埚时所使用的坩埚模具，所使用的高纯度的石墨容易氧化，影响坩埚模具的使用寿命，坩埚模具只能使用100炉左右；制作出的坩埚容易产生黑点，影响产品的合格率。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供了一种带环状盖体的坩埚模具，防止高纯度的石墨氧化，延长了坩埚模具的使用寿命，制作出的坩埚不易产生黑点，提高了坩埚的合格率，降低了成本。

为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是：一种带环状盖体的坩埚模具，包括坩埚模具、石英纤维层、冷却水套，坩埚模具由高纯度的石墨组成，坩埚模具内壁形状与坩埚外形相对应，石英纤维层在坩埚模具外侧，冷却水套在石英纤维层外侧，还包括环状盖体，环状盖体在坩埚模具上方，环状盖体的外径等于坩埚模具的外径，环状盖体的内径等于坩埚模具的内径，环状盖体所使用的是耐高温合金。

所述坩埚模具上端口内侧有一个环形凹台，环状盖体下端口内侧有一个环形凸台，坩埚模具的环形凹台和环状盖体的环形凸台相匹配，坩埚模具的环形凹台和环状盖体的环形凸台压嵌配合。

所述环状盖体的上端面与冷却水套的上端面相齐。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)防止高纯度的石墨氧化，延长了坩埚模具的使用寿命，由原来的使用

100炉左右，提高到使用500炉以上。

(2)制作出的坩埚不易产生黑点，提高了坩埚的合格率，降低了成本；坩埚中所含黑点少，或不含黑点，也就提高了用这种坩埚所熔炼拉制的单晶硅棒的质量。

附图说明

附图1本实用新型剖面主视图；

附图2本实用新型俯视图。

附图标记说明：1坩埚模具  2石英纤维层 3冷却水套 4环状盖体

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。

如图1、2所示，一种带环状盖体的坩埚模具，包括坩埚模具1、石英纤维层2、冷却水套3，坩埚模具1由高纯度的石墨组成，坩埚模具1内壁形状与坩埚外形相对应，石英纤维层2在坩埚模具1外侧，冷却水套3在石英纤维层2外侧，还包括环状盖体4，环状盖体4在坩埚模具1上方，环状盖体4的外径等于坩埚模具1的外径，环状盖体4的内径等于坩埚模具1的内径，环状盖体4所使用的是耐高温合金。坩埚模具1上端口内侧有一个环形凹台，环状盖体4下端口内侧有一个环形凸台，坩埚模具1的环形凹台和环状盖体4的环形凸台相匹配，坩埚模具1的环形凹台和环状盖体4的环形凸台压嵌配合。所述环状盖体4的上端面与冷却水套3的上端面相齐。

以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。