[实用新型]电子束照射装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电子束照射装置。

背景技术

图2表示现有例。通过扫描管1而照射的电子束透过窗箔2时，会失去一部分能量、导致窗箔2发热。通过在网格传送带4的下方位置分开配置的数个管状射线捕集器16及铅靶17，使从冷却风通道8供给、从喷嘴9出来的冷却风10在射线捕集器16上难于反转，使由冷却风10导致的被照射片5的顶端部翻卷现象得到减轻。

进而，将排气装置19设置在网格传送带4的下部，将被照射片5顶端部下面的气体、以具有排气通道20的排气鼓风机21排气，从而使片顶端部因吸引流22而紧密贴在网格传送带4上，从而提高了防止翻卷的功能。

各射线捕集器16由内部流通冷却水的不锈钢管构成，铅靶17安装在同射线捕集器的电子束相接触侧相反一侧的周面部上，以便不直接接触电子束。数个射线捕集器16间分别隔开间隔并列设置，为能吸收、捕捉到穿过射线捕集器间空隙的电子束，比如可配置成2列。铅靶17是为吸收从捕捉到的电子束产生的放射线用的部件。

实用新型内容

要解决的技术问题

但，上述现有例中，因吸引流、需在射线捕集器间设置空隙，因为此空隙电子束不能全部被捕捉而导致电子束接触吸引机构，使吸引机构加热。为散热需将吸引通道周边的空间变大，装置变得大型化。另，还需将射线捕集器作成特殊的机构。

技术方案

本实用新型具有由冷却风冷却的窗箔、通过气流的带有被照射物搬运用传送带的搬运装置、板状射线捕集器、及自板状射线捕集器侧面或侧面稍下方吸引被照射物用的吸引机构。

进而，为实现吸引机构的小型化和高效率，以限制吸引方向为目、在射线捕集器表面设置斜坡。

有益效果

根据本实用新型，因可使用板状射线捕集器，故可实现具有构造简单的被照射片翻卷防止机构的电子束照射装置。

附图说明

图1是表示本实用新型实施例的横截面图。

图2是现有例的横截面图。

图3是本实用新型的倾斜方式的射线捕集器的仰视图。

图4是本实用新型的倾斜方式的射线捕集器的侧视图。

具体实施方式

就本实用新型的实施例以图1进行说明。另外，与图2带有相同符号的部分表示相同或对应的部分。射线捕集器6及铅靶7为板状。射线捕集器6中为降低发热，而设置冷却水孔23。板状射线捕集器的侧面或侧面稍下方设置吸引通道20。

因冷却风10在射线捕集器6上反转，产生使被照射物5翻卷的力，但因吸引机构19的吸引流22可将被照射物5吸引到搬运装置4，故翻卷被消除。

因冷却风10而导致被照射物5被翻卷，是在传送带4上、被照射片5的顶端部被导入到照射区域的时侯，在扫描管1的正下方翻卷力较弱。总之，面向扫描管1的中央而被搬运的部分如以面向下方的力固定，被照射物就不会被翻卷。面向下方的力以吸引机构19实现。

为使上述吸引流22高效地发生，如图3及图4、在射线捕集器上设置斜坡。由此，吸引对象范围被限制，可使吸引鼓风机的容量变小。

通过气流的搬运装置4，通过使载置被照射物5的部分作成网格结构、或开设数个孔来实现。由此，通过吸引流22可将被照射物5固定在搬运装置4上。