[实用新型]等离子刻蚀机排风系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械设备的排气系统，更具体的说，涉及一种等离子刻蚀机排风系统。

背景技术

等离子刻蚀机主要用于微电子、光电子、通讯和微机等领域的器件研发和制造。等离子刻蚀机运行时在腔体内会产生废气和水汽，其中废气通过现有的排风系统可以排出，但是由于水汽是气态，且不溶于真空泵的泵油，所以与废气一同排出时，在排风管中冷凝成液态，形成废水从而不能被及时排出。

现有的等离子刻蚀机排风系统如图1所示，图中各标号分别表示：1、等离子刻蚀机；2、抽气管道；3、真空泵；4、出气管道；5、排风管道。等离子刻蚀机1运行时，真空泵3将等离子刻蚀机1中的气体抽出，使其满足一定的工艺压力，气体经抽气管道2进入真空泵3的进气口，然后从真空泵3的出气口经出气管道4直接和排风管道5相连，从而将废气排出，保证了真空泵3泵房的良好工作环境。但是运行时产生的废水有一部分在排风管道5的缝隙中渗出，使整个泵房的工作环境变差；还有一部分直接回流至真空泵3中，污染泵油，进而缩短了泵油的使用周期，增加了维修的工作量和维护费用。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种等离子刻蚀机排风系统，解决了废水的污染问题，改善了真空泵泵房的工作环境，节约了维护成本。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

一种等离子刻蚀机排风系统，包括：

排水管道，所述排水管道为与出气管道相连的排风管道延伸出来的一部分；

锁水装置，所述锁水装置与所述排水管道相连。

优选的，所述锁水装置为位于所述排水管道一侧的阀门。

优选的，所述锁水装置为位于所述排水管道下端的塞子。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型实施例增加了与排风管道和出气管道相通的排水管道以及与所述排水管道相连的锁水装置，由于所述排水管道方向向下，使得排风管道中的废水可以因重力作用汇集起来，流入排水管道，然后打开锁水装置，即可将废水排出。本实用新型实施例提供的排风系统简单易控，解决了废水不能及时排出导致的污染问题，改善了真空泵泵房的工作环境，减少了维修的工作量和维护费用，节约了维护成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的等离子刻蚀机排风系统结构图；

图2为本实用新型实施例公开的一种等离子刻蚀机排风系统结构图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种等离子刻蚀机排风系统，通过增加排水管道和锁水装置，使得废水可以及时排出，从而解决了废水的污染问题，改善了真空泵泵房的工作环境，节约了维护成本。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一，参见图2，图中各标号分别表示：1、等离子刻蚀机；2、抽气管道；3、真空泵；4、出气管道；5、排风管道；6、锁水阀门；7、排水管道。

本实施例公开的等离子刻蚀机排风系统的工作过程为：等离子刻蚀机1运行时，真空泵3将等离子刻蚀机1中的混有水汽的气体抽出，使其满足一定的工艺压力，上述气体经抽气管道2进入真空泵3的进气口，然后从真空泵3的出气口经出气管道4与排风管道5和排水管道7相连，废气从排风管道5排出，其中的水汽在排风管道5冷凝成液态的废水，由于所述排水管道7方向向下，使得排风管道5中的废水因自身的重力作用汇集起来，流入排水管道7，在设备维护的时候打开排水管道7一侧的锁水阀门6，即可将废水排出系统之外。

本实施例巧妙的增加了排水管道和锁水阀门，使得废水能够及时排出，避免了废水中排风管道的缝隙中渗出，保证了真空泵泵房良好的工作环境，同时避免了废水回流而导致对真空泵泵油的污染，延长了泵油的使用周期，减少了维修的工作量和维护费用，节约了维护成本，整个装置简单易控。