[实用新型]一种带有内加热器的PECVD系统

权利要求书

1、一种带有内加热器的PECVD系统，该系统包括带有进、出气口(20、7)的真空室(1)和置于真空室内可移式等离子箱(2)，所述真空室的外周四壁上设有加热板(5)，其特征在于：该系统中的可移式等离子箱(2)至少为两个，各可移式等离子箱(2)平行排列于真空室内，各可移式等离子箱之间设有用于使真空室内均匀受热的内加热器(3)。

2、如权利要求1所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述真空室(1)内底部设有轨道(26)，所述可移式等离子箱(2)底部装有滑轮(24)，可移式等离子箱由滑轮承载并沿轨道移动。

3、如权利要求1所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述内加热器(3)包括两个辐射板(9)和夹在辐射板之间的加热管(10)，所述两个辐射板通过支撑部件(11)与真空室(1)内上、下端固接，所述加热管(10)的端部穿过法兰(12)予以固定。

4、如权利要求3所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述支撑部件(11)由卡槽(11a)和支柱(11b)组成，所述两个辐射板卡接在卡槽中，支柱与真空室(1)内上、下端固接；所述法兰的外周沿处套接有密封圈。

5、如权利要求1或3所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述内加热器(3)与可移式等离子箱(2)的间距为5-12cm。

6、如权利要求1所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述可移式等离子箱(2)内安装有电极：即交替放置的激发电极(4)和接地电极(13)，所述最外侧的两个接地电极作为侧板、其内侧承载一个基板(14)，除了侧板以外的其余电极均各承载两个基板(14)，各相邻的电极之间形成放电区(25)，所述激发电极(4)与所述可移式等离子箱的其他部位绝缘，每个激发电极均独立的由一电源(8)和功率匹配器供能，所述电极的顶部设有一公共的喷淋板(16)、底部设有一公共的不锈钢板(19)，喷淋板和不锈钢板上设有孔穴(18)，所述喷淋板的顶部设有一盖板(17)，盖板上设有与真空室上端进气口(20)相连通的入气口(22)，所述可移式等离子箱的底部装有滑轮(24)。

7、如权利要求6所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述激发电极(4)的个数为N个，所述接地电极的个数为N+1个，其中N为整数且5≤N≤10。

8、如权利要求6所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述电源(8)采用外置的射频电源(8)，电源与激发电极(4)的边缘通过屏蔽电缆(15)连接。

9、如权利要求6所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述孔穴(18)的孔径Ф为1～4mm，孔距d为10～30mm。

10、如权利要求6所述的带有内加热器的PECVD系统，其特征在于：所述基板(14)面积为(381～1243)×(915～1778)mm。