[实用新型]一种多晶硅氢还原炉上的视镜无效
| 申请号： | 200920168162.0 | 申请日： | 2009-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN201525755U | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王小军;陈文龙;陈涵斌 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅氢还原炉上的视镜，包括双层的视镜镜片和通入还原炉内壁的内空式镜筒(8)，视镜镜片分别安装在法兰(2)和(7)上，法兰(2)和(7)通过螺栓(3)连接在位于还原炉炉壁之外的镜筒(8)上，镜筒筒壁在靠近视镜镜片的位置设有水冷管(6)和通气管(1)结构，其特征在于：所述的里层视镜镜片(5)为凸透镜玻璃，外层视镜镜片(4)为平面玻璃，内空式的镜筒为喇叭状结构。
2.根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉上的视镜，其特征在于，所述的里层视镜镜片为凸透镜的石英玻璃。
3.根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉上的视镜，其特征在于，所述的外层视镜镜片为平面的石英玻璃。
4.根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉上的视镜，其特征在于，所述的内空式镜筒的喇叭状结构，靠近还原外壁的一侧的法兰直径小于靠近还原炉内壁的法兰直径，法兰厚度为10-12mm。
5.根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉上的视镜，其特征在于，所述的内空式镜筒的喇叭状结构开口尺度小于或等于90°。
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