[实用新型]一种CZ直拉法单晶炉无效
| 申请号： | 200920172289.X | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN201424519Y | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 马四海;张笑天 | 申请（专利权）人： | 芜湖升阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋光恩 |
| 地址： | 241100安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cz 直拉法单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1、一种CZ直拉法单晶炉，所述的单晶炉包括晶棒取棒框，所述的晶棒取棒框包括晶棒支撑框(1)，其特征在于：所述的晶棒支撑框(1)的支撑件为活动支撑脚(2)，所述的活动支撑脚(2)与所述的晶棒支撑框(1)的连接处采用活动关节结构。
2、按照权利要求1所述的CZ直拉法单晶炉，其特征在于：所述的活动支撑脚(2)为两组，每组为两件；每组内的两件活动支撑脚(2)对称分布。
3、按照权利要求1或2所述的CZ直拉法单晶炉，其特征在于：所述的两组活动支撑脚(2)的底端的活动范围为50mm～400mm。
4、按照权利要求1或2所述的CZ直拉法单晶炉，其特征在于：所述的活动支撑脚(2)支撑在晶棒框支撑活动底盘(3)上，所述的晶棒框支撑活动底盘(3)与晶棒框支撑活动底盘固定架(4)连接。
5、按照权利要求4所述的CZ直拉法单晶炉，其特征在于：所述的晶棒框支撑活动底盘(3)与晶棒框支撑活动底盘固定架的连接结构为活动关节连接结构，所述的晶棒框支撑活动底盘(3)的转动范围为0°～90°。
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