[实用新型]光学元件的对准装置及具有该对准装置的封盖系统有效
申请号: | 200920177496.4 | 申请日: | 2009-09-15 |
公开(公告)号: | CN201584402U | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 张永昌 | 申请(专利权)人: | 和椿科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/50;H01L25/00 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 元件 对准 装置 具有 系统 | ||
1.一种光学元件的对准装置,其特征在于,其包括:
输出部,其输出第一电信号;
多个探针,其与该输出部连接,并与该光学元件接触,以将该第一电信号自该输出部传送至该光学元件;以及
接收部,其接收自该光学元件所发出的光信号。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,该光学元件包括:
载体;
发光元件,其设于该载体上以与该载体电性连接,并将该第一电信号转换为该光信号;以及
多个管芯,其与该载体电性连接。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,该光学元件进一步包括具有透镜的盖体,且该盖体与该载体固接。
4.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,该发光元件为激光二极管或发光二极管。
5.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述多个管芯的至少其中之一与所述探针接触。
6.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,该接收部包括光电转换元件,以接收该光信号并转换为第二电信号。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,其进一步包括与该光电转换元件连接的测量元件,以接收该第二电信号,并测量该盖体的该透镜与该发光元件的相对位置。
8.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,该透镜包括一纵轴,以供该光信号沿着该纵轴传送。
9.一种具有如权利要求1至8中任一项所述的对准装置的封盖系统,其特征在于,其包括:
第一承载盘,其承载至少一个该光学元件;
第二承载盘,其承载至少一个具有透镜的盖体;
第一机械臂,其夹持所述至少一个光学元件的其中一个;
第二机械臂,其夹持所述至少一个盖体的其中一个;以及
封盖本体,其具有工作平台和该对准装置,其中,该对准装置用以将该其中一个盖体的该透镜与该其中一个光学元件对准。
10.根据权利要求9所述的系统,其特征在于,其进一步包括具有操控介面的电脑设备,以操控该第一机械臂、该第二机械臂和该封盖本体的动作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造