[实用新型]等离子体增强化学气相沉积PECVD小车识别系统

权利要求书

1.一种等离子体增强化学气相沉积PECVD小车识别系统，包括多组机台和PECVD小车，其特征在于，所述机台上设有传感器，所述PECVD小车上设有识别反光板；所述机台设置传感器的位置与同组PECVD小车设置识别反光板的位置相对应，当所述PECVD小车运动到同组的所述机台的上料位置时，所述传感器感应到所述识别反光板，所述传感器指令所述机台上的机械手的动作。

2.根据权利要求1所述识别系统，其特征在于，设于每个所述机台上的所述传感器为多个，设于每个所述PECVD小车上的所述识别反光板为多个。

3.根据权利要求1或2所述识别系统，其特征在于，所述机台上还包括与所述传感器和所述机械手相连接的控制电路，所述控制电路根据所述传感器的感应信号生成指令控制所述机械手动作。

4.根据权利要求1或2所述识别系统，其特征在于，所述控制电路和设于机台的控制器协同生成指令控制所述机械手动作。