[实用新型]一种新型重锤

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶制备机械领域，尤其是用于直拉法制备桂单晶时装载籽晶用的一种新型重锤。

背景技术

在直拉法制备硅单晶时，有时由于设备振动或电机旋转不稳定，会造成籽晶振动或摆动，使得硅单晶出现断棱，尤其是在引晶、放肩、收肩、初级等径等阶段往往由于微小的干扰造成拉晶失败。因此，为提高拉晶成功率，设计一种抗干扰能力强的重锤十分必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型重锤，可以有效保证籽晶提拉、旋转的平稳，提高拉单晶质量。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种新型重锤，包括有重锤的锤体，其特征在于：所述重锤锤体前端成型有连接轴，连接轴前端连接有钼夹头，所述钼夹头的端头开有籽晶插孔，钼夹头的侧壁上设有籽晶固定销插孔，所述的籽晶固定销插孔与籽晶插孔联通；还包括有软轴连接轴，所述重锤的锤体后端成型有连接环，所述重锤的锤体通过连接环上有内螺纹孔，所述的软轴连接轴前端与连接环上的内螺纹孔旋合连接。

本实用新型具有以下优点

1)采用钼材料作为籽晶夹具，可以提高重锤的耐高温性能。

2)重力锤采用不锈钢材质，可以在保证重量的前提下降低重锤成本。

3)本实用新型相对较重，抗干扰能力较一般产品增强。

4)采用本重锤装置，可以提高籽晶转速，使得单晶棒径向电阻率分布更均匀。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

一种新型重锤，包括有重锤的锤体3，重锤的锤体前端成型有连接轴2，连接轴2前端连接有钼夹头1，钼夹头1的端头开有籽晶插孔7，钼夹头1的侧壁设有籽晶固定销插孔6，籽晶插孔7与籽晶固定销插孔6垂直相交，还包括有软轴连接轴5，重锤的锤体3后端成型有连接环4，软轴连接轴5与连接环4螺纹连接。

本实用新型主体分为两部分，钼夹头1和重锤的锤体3，钼夹头为固定籽晶装置，耐高温；重锤的锤体3主要是增加重锤重力的作用，提高重锤整体的抗干扰能力。

钼夹头1和重锤的锤体3通过连接轴2连接起来，重锤的锤体3通过连接环4和软轴连接轴5连接，实现重锤的上下以及旋转运动。

籽晶从籽晶插口7放入重锤中，并向籽晶固定销插口6插入固定销，固定籽晶。

本实用新型适用于提拉制备4～8英寸的单晶棒。