[实用新型]微通道板电性能动态测试台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种微通道板电性能动态测试台，主要用于测试微通道板的动态电性能。

背景技术

微通道板是一种特殊的电子倍增元件，其生产制造过程的质量必须通过电性能动态测试分析才能得出结论。由于我国微通道板研究开发基础薄弱，微通道板制造和测试分析设备缺乏，测试微通道板电性能的设备功能不完善、测试不准确，这阻碍了微通道板的研究和制造，特别是高性能微通道板的研究制造。

现有技术中测试微通道板电性能设备中的电子发射系统采用电子枪，但由于电子枪的固有特点：启动需要在高真空条件下较长时间预热、解除真空状态电子枪需要较长时间冷却，这种低效率给生产造成了很大的不便，成为制约微通道板制造规模的主要因素。另外，每块微通道板的测试夹具都装有荧光屏，这不仅制造工艺复杂，而且成本高昂，夹具清洗更换困难。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理、可动态测试微通道板电性能的微通道板电性能动态测试台。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：一种微通道板电性能动态测试台，包括工作台，其特征在于：在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。

本实用新型所述的电子发射系统包括夹件、石英玻璃窗、Au-Ag电极、紫外线发射系和微通道板，所述的微通道板安装在夹件内，石英玻璃窗正对微通道板，紫外线发射系正对石英玻璃窗，Au-Ag电极沉积在石英玻璃窗朝微通道板方向的表面上。

本实用新型所述的观测系统包括光学显微镜和荧光图像采集器。

本实用新型在所述的真空工作室上开有观察窗，在所述的观察窗上安装有荧光屏。

本实用新型所述的电性能参数获取系统包括电子发射系统电源、电子加速电源、微通道板工作电源、荧光屏电源和微电流测量器件；电子发射系统电源与紫外线发射系连接；电子加速电源与微通道板连接；荧光屏电源与荧光屏连接。

本实用新型与现有技术相比，具有如下优点和效果：1、结构设计合理；2、功能实用、观测准确；3、电子发射系统中加入了微通道板，不需要预热，不需要冷却，造价低，电子发射面积大；4、荧光屏安装在真空室观察窗中，整个测试设备只需一个荧光屏即可，大大降低测试成本，更换方便，质量容易保证。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图2为本实用新型实施例电子发射系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例：

参见图1和图2，本实用新型包括观察系统1、真空工作室2、电子发射系统3、真空系统4、人机界面系统5、电性能参数获取系统6、电源系统7、真空控制系统8和工转系统9。观察系统1、真空工作室2、电子发射系统3、真空系统4、人机界面系统5、电性能参数获取系统6、电源系统7、真空控制系统8和工转系统9均安装在工作台10上。接通外部电源，电源系统7开始给真空系统4、真空控制系统8、电子发射系统3、电性能参数获取系统6和人机界面系统5供电，通过电性能参数获取系统6、观察系统1、人机界面系统5和工转系统9完成所有工件测试工作。真空工作室2左下面和真空系统4连接并通过电源系统7供电抽取真空，真空控制系统8控制真空过程。真空工作室2的下部中央安装有机械式的工转系统9来转换工位。真空工作室2的上面靠边、工位的正上面开有观察窗，在观察窗上安装有荧光屏，供观察系统1和操作者使用。

真空工作室2是供需要检测的微通道板安装进行性能测试的真空腔体，用不锈钢经过机械加工成型，真空度可以达到9.0×10^-5Pa。在真空工作室2上安装有荧光屏。

观察系统1由一套光学显微镜和荧光图像采集器组成，功能是观察荧光屏的图案并对图案采集传输到人机界面系统5中，供分析储存。