[实用新型]一种气体供应装置无效
| 申请号： | 200920198525.5 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN201527398U | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 黄伟;顾海涛;王健 | 申请（专利权）人： | 聚光科技(杭州)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 供应 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体供应装置，包括光源、滤光模块、转化单元、测量单元，转化单元和测量单元间通过气路连通，所述转化单元上设置进气口，所述测量单元包括测量室、第一探测器、排气口以及分析模块；转化单元和测量单元共用一个光源，所述光源发出的光穿过转化单元而产生臭氧，所述光源发出的光穿过滤光模块、测量单元后，到达所述第一探测器。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述转化单元和测量单元处于光源的两侧。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：还设置有监控光源发出光的光强的第二探测器，其输出端连接分析模块，第二探测器到光源的距离小于第一探测器到滤光模块的距离。
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