[实用新型]一种光点位置传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及传感器，特别是用于测量激光位置的传感器。

背景技术

位移测量仪器，一般采用电容式传感器、涡流传感器、差动变压器、霍尔传感器，以及激光位移传感器。除激光位移传感器外，其它传感器都需要在被测物体上加装一些部件，这样就增加了其质量，对其机械运动造成影响，因而不适用于微小质量的物体的微小位移或形变测量。而激光位移传感器不需要在被测物体上加装部件，也不会在被测物体上加力，因而比较适合应用。

但现有的激光位移传感器采用CCD作为光点位置传感器，激光光点在CCD上成像，通过扫描感知光点的位置。采用CCD芯片加扫描电路成本高，由于电路精密，易受到电磁干扰。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种结构简单、低成本的高精度光点位置传感器，以方便使用。

本实用新型的方案是：光点位置传感器，包括基片、光敏材料层、电阻片，在条状陶瓷基片上均匀涂覆并烧结有硫化镉光敏材料层，光敏材料层的上面通过真空磁控飞溅工艺制有两条线性电阻电阻片，电阻片纵向左右分布，中间留有一均匀的透光缝隙，硫化镉光敏材料采用低电阻率，电阻片采用高电阻率，电阻率之比大于100倍以上，每条电阻片的端头设有引脚，两个引脚位于同一端，传感器的表面涂有透明环氧树脂保护层。

本实用新型的优点是：激光光点照射到两条电阻片之间的缝隙时，照射处的硫化镉光敏材料导通，将两条电阻片在该处连通，根据光点的位置上下不同，导通处的位置发生相应变化，从而输出不同的电阻值，反应出光点的位置信息。本发明线性好、精确度高，具有简单可靠的优点。

附图说明

下面根据附图结合实施例对本实用新型作进一步说明。

附图是本实用新型的结构示意图。

图中标记说明：1引脚压接头，2电阻片，3光敏材料层，4陶瓷基片，5引脚。

具体实施方式

参见附图，实施例的结构是：在条状陶瓷基片4有硫化镉光敏材料层3，光敏材料层3的上面有两条电阻片2，电阻片2纵向左右分布，中间留有一均匀的透光缝隙，每条电阻片的端头设有引脚5，两个引脚5位于同一端，传感器的表面涂有透明环氧树脂保护层。

光敏材料层均匀涂覆在陶瓷基片上并烧结而成，厚度以及制造工艺与现有的光敏电阻相同。

电阻片通过真空磁控飞溅工艺制成，工艺和现有的电位器中的电阻片相同。电阻片为线性电阻。

硫化镉光敏材料采用低电阻率，电阻片采用高电阻率，电阻率之比大于100倍以上，以消除因光照强度不同时硫化镉光敏材料本身的电阻影响。比如实施例的传感器在导通点的电阻为10Ω，而电阻片的电阻为10KΩ/mm。这样，假如光照点到引脚处构成的有效电阻为100KΩ，则总电阻为100.010KΩ，当光照强度受到其它因素影响变弱，导通点的电阻为12Ω时总电阻为100.012KΩ，基本没有影响。

由于硫化镉光敏材料、电阻片的材料为均匀的微小粉末，因而具有较高的分辨率，经实验，实施例的传感器可以鉴别直径2mm激光点位移0.01mm。