[实用新型]一种射频电源装置

权利要求书

1.一种射频电源装置，其特征在于，包括：多路输出同步信号源、多路功率放大器、多路匹配器和多路放电电极等；其中，所述匹配器的输出连接所述放电电极并与之匹配，所述匹配器的输入连接所述功率放大器的输出并与之匹配；所述多路输出同步信号源的输出，接入多路所述功率放大器的输入端；多路所述功率放大器对输入的射频信号进行同步放大，多路所述匹配器对多路所述放电电极进行射频放电，多路所述放电电极内的气体产生辉光放电。

2.如权利要求1所述的射频电源装置，其特征在于：所述多路输出同步信号源安装在金属外壳内，且该多路同步信号源内部用石英晶体振荡器产生射频振荡，并用一分配器对该射频振荡信号进行分配并多路输出。

3.如权利要求1所述的射频电源装置，其特征在于：所述功率放大器安装在带水冷却的金属外壳内，该功率放大器为非线性放大器，且该功率放大器内置的功放管工作在开关状态。

4.如权利要求1所述的射频电源装置，其特征在于：所述放电电极位于放电管内，放电电极的放电的投影为长矩形，放电电极的横切面为短矩形，两根相同的所述放电电极对称的排列于放电管内，形成一对放电电极。

5.如权利要求1所述的射频电源装置，其特征在于：还包括直流供电电源，所述直流供电电源同时分别向多个所述功率放大器供电。

6.如权利要求5所述的射频电源装置，其特征在于：所述直流供电电源还包括调节所述功率放大器的输出功率的输出斩波器，所述输出斩波器是由二极管和IGBT组成，所述IGBT由一控制器控制，所述IGBT工作于开关状态。

7.如权利要求5所述的射频电源装置，其特征在于：所述直流供电电源还包括：把输入的380V降压至160～170V的三相变压器、三相整流桥和滤波电容，经过所述三相整流桥整流和所述滤波电容的滤波，产生直流电源，通过所述输出斩波器对所述射频电源装置供电。

8.根据权利要求1所述的射频电源装置，其特征在于：所述匹配器还包括：输入平衡变压器、并联电容器、串联电感器和可调电容器，所述可调电容器并联于所述匹配器的输出端口上，所述串联电感器的一端连接于输出端口的阳极端，另一端连接于所述并联电容器的一端，所述并联电容器的另一端连接于输出端口的阴极端，所述输入平衡变压器的输出端口并联于所述并联电容器的两端上，所述输入平衡变压器的输入端口并联于所述匹配器的输入端口上。

9.如权利要求1所述的射频电源装置，其特征在于：所述功率放大器还包括：推挽输出变压器、MOSFET、MOSFET驱动器、及正负半周分离器，其中，一对所述MOSFET连接于所述推挽输出变压器的初级的两端，所述推挽输出变压器的输出端连接于所述功率放大器的输出端上，一对所述MOSFET驱动器分别连接于一对所述MOSFET上，所述正负半周分离器的正半周和负半周输出端口分别连接于一对所述MOSFET驱动器的输入端上，所述正负半周分离器的输入端连接于所述功率放大器的输入端上。