[实用新型]一种激光器的谐振腔

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种激光器谐振腔，尤其涉及一种大功率气体激光器新型谐振腔。

【技术背景】

大功率气体激光器在切割、焊接、熔覆等行业领域有着广泛的用途，尤其在切割领域，更是占据了85％以上的应用市场。大功率气体激光器主要由谐振腔、激励电源、气体循环系统等构成，其中最重要的部分是谐振腔，可以这么说，谐振腔是激光器最为核心的部件，是体现激光器质量最重要的部分，同时也是衡量激光器光束品质的标志。

现有的大功率气体激光器谐振腔，大多数都是气体流动型激光器，由于气体流动致使放电溅射物质、工件表面杂质、工作气体不纯物质等杂质进入激光谐振腔，带来谐振腔的污染，导致气体激光器放电效果差，容易引起拉弧、激光功率下降、激光功率不稳定、激光束模式发生改变等现象。另一方面，由于在开机抽真空过程中，因真空度很低，一般要抽到10mbar以下，很低的真空度容易导致谐振腔变形，引起激光束模式发生改变、激光功率下降、激光功率不稳定等现象。

拉弧、激光功率下降、激光功率不稳定、激光束模式发生改变等现象都是目前气体激光器制造商们经常遇到的问题。因此，提供一种能够消除激光器谐振腔污染，又能抗拒真空变形的谐振腔，已经成为大功率激光器制造商们当前急需解决的问题。

【发明内容】

本实用新型所欲解决的技术问题是提供一种适合于大功率气体激光器谐振腔，一方面能消除激光器谐振腔的污染，另一方面能够抗拒真空带来的变形问题，以此达到降低或消除放电拉弧、激光功率下降、激光功率不稳定、激光束模式发生改变等现象。

本实用新型所采用的技术方案是：一种体激光器的谐振腔，包括：纵长的配气管、与配气管平行的放电管、及均与配气管及放电管连通的集尘箱，其中，配气管与放电管分离固定安装，集尘箱位于放电管的放电进风口附近，配气管两端设有波纹管。

其中，还设有固定在放电管上的回气管。

其中，所述配气管两端固定在端部固定座上。

其中，所述集尘器将纵长的配气管分隔成几段短的配气管。

其中，每个短的配气管的两端设有波纹管。

本新型的激光器的谐振腔，通过将配气管与放电管分离固定安装，并通过将集尘箱固定在放电管的放电进风口附近，一方面能消除激光器谐振腔的污染，另一方面能够抗拒真空带来的变形问题，以此达到降低或消除放电拉弧、激光功率下降、激光功率不稳定、激光束模式发生改变等现象。

【附图说明】

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1是本实用新型新型谐振腔示意图；

图2为图1所示的局部放大图。

【具体实施方式】

如图1和图2所示为本实用新型大功率气体激光器谐振腔的示意图，本谐振腔包括：纵长的配气管10、位于配气管10上端并与配气管10平行的放电管20、均与配气管10及放电管20连通的多个集尘器30、及位于放电管20上的回气管40，其中，纵长的配气管10的两端设有端部固定座11，即固定配气管10；配气管10通过前端板14与后端板15固定，且配气管10与放电管20分离固定安装；集尘器30将纵长的配气管10分隔成几段短的配气管10，每个短的配气管10的两端设有波纹管12，使得配气管10与谐振腔端板14、15弹性连接，两波纹管12之间的中间固定座13，集尘器30固定在中间固定座13、前端板14及后端板15上，且集尘箱30位于放电管20的放电进风口21附近；回气管40通过回气管座41固定在放电管20上，以排除气体，该回气管座41固定在配气管20及配气管10上。

一方面，激光器在工作过程中，因放电，激光器工作气体不纯或谐振腔内有杂质而产生谐振腔污染物质。由于集尘器30与放电管20连通，并位于放电管20的放电进风口，所有气体物质进入放电管20放电之前都先经过集尘器30，在气体高速流动之下，污染物质被收集在集尘器30，然后通过回气管40排出气体，故需对集尘器30进行定期清洗，即可保证谐振腔的洁净度，从而消除了污染对激光器谐振腔的有害影响。

另一方面，由于配气管10和谐振腔的放电管20进行分离固定安装，使得在真空状态下，真空变形不会影响谐振腔的放电管20变形。在激光器工作过程中，由于波纹管12的作用，有效地抑制了气体因高速带来的气压波动，保证了放电气体的稳定性。同时，利用波纹管12结构，极大地降低了结构的加工精度，降低了安装精度，从而降低了制造成本。

本新型的激光器的谐振腔，通过将配气管与放电管分离固定安装，并通过将集尘箱固定在放电管的放电进风口附近，一方面能消除激光器谐振腔的污染，另一方面能够抗拒真空带来的变形问题，以此达到降低或消除放电拉弧、激光功率下降、激光功率不稳定、激光束模式发生改变等现象。