[实用新型]一种工件清洗设备的脱水提升装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及到工件清洗设备，尤其涉及一种工件清洗设备的脱水提升装置。

背景技术

现有的工件清洗设备在清洗处理中，工件(如硅片)在漂洗之后需要充分脱水后再进入到烘干工序，而一般的工件清洗设备将工件(如硅片)从漂洗中较快提起后，使工件上留下过多的水形成水珠，水珠滑脱下后会在工件上留下水痕，烘干后还会在清洗后的工件留下痕迹。因此，如何使清洗后的工件不留下水痕是业内亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型是要解决上述的技术问题，提供一种可使清洗后的工件不会留下水痕的工件清洗脱水提升装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案是：一种工件清洗设备的脱水提升装置，包括置于槽体内并与清洗篮连接的提托架和带动该提托架的提升结构，其中：所述的提升结构包括滚珠丝杆、可沿滚珠丝杆上下移动的滑块架、可设定提升速度的慢提电机，该滑块架通过带座直线轴承与滚珠丝杆相连，所述滚珠丝杆与慢提电机之间通过一带传动机构连接，所述提托架与所述滑块架相连接。

所述滑块架与可沿滚珠丝杆上下滑动的四个滑块连接。

与现有技术相比，本实用新型通过慢提电机带动滚珠丝杆提升工件篮，利用纯水加热后的表面张力的原理，加上电机的较慢提拉工件篮的方式对工件进行预脱水处理，慢提电机根据需要可设定不同的提升速度，使漂洗之后的工件不会留下水痕，达到工件在漂洗后充分脱水的需求。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中：

图1是本实用新型较佳实例的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型较佳实例，如图1所示的工件清洗设备的脱水提升装置，包括置于槽体1内并与清洗篮2连接的提托架3和带动该提托架的提升结构，清洗篮放置在提托架上，提升结构包括滚珠丝杆4、可沿滚珠丝杆上下移动的滑块架5、可设定提升速度的慢提电机6，该滑块架5通过带座直线轴承8与滚珠丝杆4相连，滚珠丝杆与慢提电机之间通过一带传动机构7连接，提托架3与滑块架5相连接，滑块架5与可沿滚珠丝杆4上下滑动的四个滑块9连接，通过滑块9有利于滑块架5上下移动。本套装置固定在清洗设备的内部。

例如在硅片工件清洗处理中，为使硅片在漂洗之后充分脱水而进入烘干工序，减少水珠残留造成的水痕，利用纯水加热后的表面张力的原理，选择较慢提拉的方式对硅片进行预脱水处理，达到工件在漂洗后脱水需求。慢提电机转动带动与其相连的滚珠丝杆转动，滚珠丝杆转动通过带座直线轴承8使滑块架沿丝杆移动，根据设定的提升速度，慢提托架及清洗篮慢慢地从槽体中提出，由于提起速度较慢，使得硅片工件有足够时间达到预脱水要求。

以上结合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的范围之内。