[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 200920205212.8 | 申请日： | 2009-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201550275U | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 吴志江;苏永泽 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，其包括：带有进声孔的第一电路板、第二电路板、连接两个电路板并与两个电路板组合形成一腔室的侧壁、及位于腔室内并安装在第一电路板上的MEMS芯片，MEMS芯片设有声腔，其特征在于：所述侧壁包括第一部分和与之相连的第二部分，第一部分在平行于第一电路板的方向上的宽度比第二部分的宽度大，在该侧壁的第一部分上设有自靠近第一电路板的一端延伸至第二电路板的金属化孔。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一电路板外表面及侧壁的外表面设有包覆其上的金属外壳。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS芯片的声腔与进声孔相连通。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述金属化孔的数量为四个。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第二电路板上设有焊盘。
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