[实用新型]抗振动态干涉测量仪

权利要求书

1.一种抗振动态干涉测量仪，其包括干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统；所述干涉光学系统包括光路及移相装置；滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路；其特征在于：

其中所述光学系统包括光源(1)、分束器(2)、准直扩束镜(3)、参考镜(4)、被测物体(6)、光阑(7)、透镜(8)，所述光源(1)、分束器(2)、准直扩束镜(3)、参考镜(4)、被测物体(6)、光阑(7)、透镜(8)和光电探测器(9)依次置于光路中，在参考镜(4)背面固定移相装置(5)

所述光源(1)发出的光依次经过分束器(2)、准直扩束镜(3)、参考镜(4)、移相装置(5)后投射到被测物体(6)表面上后，其反射光透过参考镜(4)与参考镜前表面的反射光相遇发生干涉，干涉信号经准直扩束镜(3)、分束器(2)、参考镜(4)、透镜(8)投射到光电探测器(9)的光敏面上将其转换成电信号；

所述光电探测器(9)连接信号处理电路，将电信号输入信号处理电路滤除其正弦调制信号，获得被测量物体的表面形貌；

所述同步移相控制电路由信号源(1001)、分频器(1002)、脉冲发生器(1005)、正弦信号源(1003)、合成器(1004)、直流源(1006)、电压放大器(11)构成；信号源(1001)连接分频器(1002)，经N分频后输出二路，一路连接脉冲发生器(1005)，形成窄脉冲，再与光电探测器(9)相连，控制光电探测器的曝光时间；另一路连接正弦信号源(1003)，控制正弦信号源产生的正弦信号，正弦信号源(1003)与直流源(1006)连接合成器，使正弦信号与直流源的直流在合成器(1004)中合成后，再连接电压放大器(11)，电压放大器(11)最后连接移相装置(5)，放大驱动移相装置作移相操作，达到正弦移相目的；

所述信号处理电路完成放大、乘法、滤波运算。

2.根据权利要求1所述的抗振动态干涉测量仪，其特征在于，所述的移相装置(5)是采用三个压电陶瓷构成，固定在参考镜(4)背面。

3.根据权利要求2所述的抗振动态干涉测量仪，其特征在于，所述构成移相装置(5)的三个压电陶瓷成60°排列固定在参考镜(4)背面。

4.根据权利要求1所述的抗振动态干涉测量仪，其特征在于，所述光源(1)采用He-Ne激光器或SLD光源；所述的光电探测器(9)是一CCD照像机或光电阵列。

5.根据权利要求1所述的抗振动态干涉测量仪，其特征在于，所述同步移相控制电路中：

所述信号源(1001)输出二路频率为f的矩形波，一路输入A/D转换电路作为采样脉冲，另一路输入分频器(1002)；

所述分频器(1002)是N位分频器，输出频率为f_c的方波(f＝Nf_c)，连接正弦信号源(1003)的同步端；

所述正弦信号源(1003)为一低频信号发生器，该信号发生器输出一路正弦调制信号acos(2πf_ct+θ)驱动移相装置(5)作正弦运动，另一路作同步信号送信号处理电路；

所述合成器(1004)为一加法器，为移相装置(5)提供直流及交流驱动电压；

所述脉冲发生器(1005)的脉冲频率为f_c，控制光电探测器(9)的快门，即光电探测器(9)的曝光时间，所述曝光时间小于100μs，其快门开启频率同正弦相位调制信号频率相同，且同步；

所述电压放大器(11)将正弦信号进行放大，输出给移相装置(5)。

6.根据权利要求1所述的抗振动态干涉测量仪，其特征在于，所述信号处理电路包括滤波器(1202)、乘法器(1003)，所述滤波器(1202)为一高精度低通多阶滤波器，精度小于0.001db，截止频率小于100Hz；乘法器(1003)的输出端与滤波器(1202)的输入端相连，滤波器(1202)输出信号为：

P(x，y)＝ksinα(x，y)

式中k为系统系数。