[实用新型]一种精密隔振装置

权利要求书

1.一种精密隔振装置，它包括第一层隔振器(1)、第二层隔振器(2)和微位移检测装置(3)；其特征在于：所述第一层隔振器(1)由第一空气弹簧(101)与磁流变体隔振装置相并连构成，第二层隔振器由第二空气弹簧(201)与微作动元件相并连构成；所述第二层隔振器安装在第一层隔振器(1)之上，两者相串连为一体；所述微位移检测装置(3)与第一层隔振器(1)的磁流变体隔振装置相连接，微作动元件(202)与测振传感器(204)相连；精密仪器(303)放置在第二层隔振器(2)上面，精密仪器(303)通过测振光路与微位移检测装置(3)的相连接。

2.根据权利要求1所述的精密隔振装置，其特征在于：所述磁流变体隔振装置包括磁流变阻尼器(102)和用于产生磁场的线圈(103)，磁流变阻尼器(102)内装磁流变液。

3.根据权利要求1所述的精密隔振装置，其特征在于：所述微作动元件(202)是一压电陶瓷或磁致伸缩元件

4.根据权利要求1所述的精密隔振装置，其特征在于：所述微位移检测装置(3)包括校准装置(301)和信号处理与控制装置(302)；校准装置(301)输出的定值信号作为信号处理与控制装置的输入信号；所述信号处理与控制装置(302)输出误差信号，通过反馈信号线与磁流变阻尼器的线圈(103)相连。

5.根据权利要求1所述的精密隔振装置，其特征在于：所述第一层隔振器通过第一金属板(104)与第二金属板(105)将第一空气弹簧(101)与磁流变体隔振装置相并连，所述的第二层隔振器通过第二金属板(105)与第三金属板(203)将第二空气弹簧(201)与微作动元件(202)相并连。