[实用新型]半导体工艺用手推车

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺用手推车，且特别涉及一种可保护其上物品的半导体工艺用手推车。

背景技术

随着晶圆尺寸从8寸增加到12寸，用于放置晶圆的晶圆承载盒(Wafer FrontShipping Opening Box，FOSB)或者前开式晶盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)及它们的零配件的尺寸也越来越大，使得晶盒的重量不断增加。如果这些物料都是自动作业的话，那么这种尺寸及重量的增加可能不会引起任何重大的人体生物工程风险。

但是，全自动化作业是不能完全实现的，因此不可避免地还是存在人工搬运的情况，例如芯片测量、将晶盒搬运到人工货架等环节。随着越来越多的芯片制造商往亚洲转移，而多数作业人员为女性，晶盒的尺寸及重量问题变得更为明显。

现有技术中通常采用具有多层固定式搁架的手推车来进行搬运，每层放置两个晶盒，然而现有手推车在设计结构上具有明显缺陷，其无法固定晶盒，同时也不具有挡杆，容易在运输过程中造成晶盒移动甚至是掉落，手推车由于是人为控制制动，也很容易造成推车倾覆，以上原因都会造成晶盒的损坏，从而造成其中的晶圆刮伤、污染甚至是破损。

实用新型内容

本实用新型提出一种半导体工艺用手推车，改善现有手推车的结构，以减少在目前推车在设计上的缺陷从而容易造成产品在运输过程的损坏。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种半导体工艺用手推车，包括底座、车身、隔板和推车手柄，所述车身由车身杆架组成，所述隔板将车身杆架分段，其中每一段车身杆架的上段具有滑道，手推车第一侧面和第二侧面分别具有挡杆，设置于相邻两层隔板之间，每一根所述挡杆的两端分别设置在同一侧面的两个滑道中，其中所述挡杆位于滑道顶端时由固定螺栓限位，当松开固定螺栓后，挡杆滑动到滑道最底端。

可选的，所述手推车第三侧面和第四侧面分别具有弧形阻挡杆，设置于相邻两层隔板之间的两段车身杆架之间。

可选的，所述每层隔板上具有多个固定部，所述固定部的外周高于所述隔板表面。

可选的，固定部的外周高度为小于等于3mm。

可选的，所述底座上具有车轮，车轮和底座之间具有硬性弹簧。

可选的，所述推车手柄根据其与车身的连接处为中心拉动，车轮具有刹车片通过连杆连接于推车手柄，当向下拉动推车手柄时，带动刹车片制动车轮。

本实用新型提出的半导体工艺用手推车，在车身四周设置活动的挡杆可以防止产品从旁边滑落，不会妨碍取放产品同时更加方便、安全；推车手柄可连接控制车轮上的刹车片，制动性能优越；车轮上方采用硬性弹簧，可以起到很好的防震效果；滑道采用定长固定，节省物料开支。

附图说明

图1所示为本实用新型较佳实施例的半导体工艺用手推车结构示意图。

图2所示为本实用新型较佳实施例的手推车取放产品时的示意图。

图3所示为本实用新型较佳实施例的手推车运输时的示意图。

图4～图6所示为本实用新型较佳实施例的挡杆在滑道中运动的示意图。

具体实施方式

为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图说明如下。

请参考图1，图1所示为本实用新型较佳实施例的半导体工艺用手推车结构示意图。本实用新型提出一种半导体工艺用手推车，包括底座110、车身100、多层隔板200和推车手柄170，所述车身100由车身杆架组成，所述多层隔板200将车身杆架分成多段(本实施例中分为第一段车身杆架120和第二段车身杆架130)，其中每一段车身杆架120、130的上段具有滑道300，手推车第一侧面和第二侧面(图中所示为手推车前进方向的左右两侧面)分别具有多根挡杆400(图中只显示了一侧的挡杆和滑道)，设置于相邻两层隔板200之间的两段车身杆架之间，例如是两根第一段车身杆架120之间或者两根第二段车身杆架130之间，所述每一根挡杆400的两端分别设置在同一侧面的滑道300中，其中所述挡杆400的位于滑道300顶端并由固定螺栓限位，此时各层隔板200在手推车侧面留出最大空间，方便作业员取放产品(请参考图2)，取放完毕当松开固定螺栓后，挡杆400滑动到滑道300最底端，由于滑道300最底端的位置位于上下两个相邻隔板200之间大约中间处，因此产品被挡杆400阻挡而不会从手推车左右两侧滑出跌落造成损坏(请参考图3)。