[实用新型]气路流量控制模块有效
| 申请号： | 200920208121.X | 申请日： | 2009-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN201477080U | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 潘忠 | 申请（专利权）人： | 上海科油石油仪器制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/00 | 分类号： | G01N30/00 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利事务所 31215 | 代理人： | 徐筱梅 |
| 地址： | 201803 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流量 控制 模块 | ||
【权利要求书】：
1.一种气路流量控制模块，其特征在于矩形的模板(2)上集成数个气体进管(1)、流量调节阀(3)、气体旁通管(4)、气体调节管(5)，气体进管(1)和气体旁通管(4)、气体调节管(5)分别设置在模板(4)的两侧，流量调节阀(3)相嵌在模板(2)内与两侧的气体进管(1)、气体旁通管(4)、气体调节管(5)连接。
2.根据权利要求1所述气路流量控制模块，其特征在于所述数个气体进管(1)平行设置在模板(2)的一侧；数个气体旁通管(4)、气体调节管(5)为上、下排列平行设置在模板(2)的另一侧。
3.根据权利要求1所述气路流量控制模块，其特征在于所述流量调节阀(3)为三通，设有进气口(6)、旁通出口(7)、调节出口(8)，进气口(6)与气体进管(1)连接；旁通出口(7)与气体旁通管(4)连接；调节出口(8)与气体调节管(5)连接。
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