[实用新型]中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘

权利要求书

1.一种中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，包括有底盘法兰(1)和分别位于该底盘法兰(1)的上、下端面的上底板(7)、下底板(3)，其特征在于：于所述底盘法兰(1)和上、下底板(7、13)之间装设有第一系列导流板(13)、第二系列导流板(15)和第三系列导流板(17)，所述第一、二、三系列导流板(13、15、17)由圆弧形板组成，其围绕所述底盘法兰(1)的中心呈螺旋型等距排布并与所述底盘法兰(1)的内壁形成有呈中心对称的第一螺旋导流通道(14)、第二螺旋导流通道(16)和第三螺旋导流通道(18)，所述第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)内端将所述底盘法兰(1)的中心三等分，于所述底盘法兰(1)的中心还装设有与第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)的内端相连通的冷却水出口(6)，于所述第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)的末端分别装设有冷却水进口(9)。

2.如权利要求1所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：所述的第一系列导流板(13)、第二系列导流板(15)与第三系列导流板(17)形成的第一螺旋导流通道(14)、第二螺旋导流通道(16)和第三螺旋导流通道(18)包括有顺流螺旋导流通道、逆流螺旋导流通道以及顺逆联合螺旋导流通道。

3.如权利要求1所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：于所述第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)内设置有与所述底盘法兰(1)的轴向相平行且与所述上、下底板(7、3)相连的混合气体入口短节(5)。

4.如权利要求3所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：所述的混合气体入口短节(5)呈同心圆周状分布于所述第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)内。

5.如权利要求1所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：于所述底盘法兰(1)的中心还设置有与所述底盘法兰(1)的轴向相平行且与所述上、下底板(7、3)相连的混合气体出口(8)。

6.如权利要求5所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：所述冷却水进口(9)装设在混合气体出口(8)的外周，于两者之间留有冷却水流动间隙，该冷却水流动间隙的上端与第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)的末端相连通。

7.如权利要求1、2、3、4、5或6所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：沿所述底盘法兰(1)侧壁的径向设置有侧壁冷却水进口(10)和侧壁冷却水出口(12)。

8.如权利要求7所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：于所述上底板(7)的外圆周侧设置有密封衬环(2)，其与所述底盘法兰(1)的上端面相连。

9.如权利要求8所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：所述的底盘法兰(1)的上端面与上底板(7)的下侧面之间设置有环状沟槽(11)，其与所述侧壁冷却水进、出口(10、12)连通，并在中间设置隔板(19)将侧壁冷却水进、出口(10、12)之间的最短圆弧隔断。

10.如权利要求9所述的中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘，其特征在于：于所述第一、二、三螺旋导流通道(14、16、18)内还装设有呈同心圆周状分布的电极座(4)，其与所述底盘法兰(1)的轴向相平行且与所述上、下底板(7、3)相连。