[实用新型]炉管及加热器

权利要求书

1.一种加热器，位于炉管中的反应腔外；其特征在于，所述加热器包括N个彼此独立，互不连接的子加热器；所述N的取值与加热器中的温区数相同，每个子加热器为一个温区；按照每个温区对应的加热区域的不同，所述N个子加热器依次叠加在一起。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述每个子加热器按照从外到内的顺序依次包括：不锈钢层、绝热层和加热电路。

3.一种炉管，包括：加热器、反应腔、底盖以及晶舟；所述晶舟用于装载硅片，所述底盖与所述晶舟相连，带动所述晶舟进入或离开反应腔，并在当所述晶舟进入反应腔时，所述底盖与所述反应腔构成密闭结构；所述加热器位于所述反应腔外，用于对所述反应腔进行加热；

其特征在于，所述加热器包括N个彼此独立，互不连接的子加热器；所述N的取值与加热器中的温区数相同，每个子加热器为一个温区；按照每个温区对应的加热区域的不同，所述N个子加热器依次叠加在一起。

4.根据权利要求3所述的炉管，其特征在于，所述每个子加热器按照从外到内的顺序依次包括：不锈钢层、绝热层和加热电路。