[实用新型]用于多晶槽式制绒设备的热风干燥系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体技术领域中的制绒设备，具体地说，涉及的是一种用于多晶槽式制绒设备的热风干燥系统。

背景技术

制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀，形成微沟，降低硅片表面的反射率，促使太阳在硅片表面进行多级反射，提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备工艺中，制绒工艺是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分，也是提高太阳能电池转换效率的重要途径之一。

在太阳能电池迅速发展应用的今天，对于目前占主要市场的晶体硅太阳能电池，未经表面处理的发射率一般超过30％，经过碱液等各向异性化学腐蚀形成表面微米级随机金字塔结构绒面后单晶硅电池表面发射率可以降到10％，多晶硅电池由于表面晶粒的晶向差异，目前普遍采用的各向行化学腐蚀只能将发射率降低到20％。

现有技术中，太阳能硅片行业干燥一般采用离心甩干、IPA干燥，而甩干方式干燥易引起硅片碎裂；IPA干燥耗液大，系统安全防火设施要求高，易引发火警。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种用于多晶槽式制绒设备的热风烘干系统，该系统可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隐患。

为实现以上目的，本实用新型提供了一种用于多晶槽式制绒设备的热风烘干系统，该系统包括热风循环动力系统、加热系统、烘干主槽、净化系统、充N₂系统。

热风循环动力系统、加热系统、净化系统均位于加热系统封闭箱体内；热风循环动力系统进风口直接与烘干主槽的回风系统相连，出口与加热系统的进口直接相连；加热系统位于热风循环动力系统的前方，出口直接与净化系统的进口相连；净化系统位于加热系统的前方，出口直接与烘干主槽的循环进口相连；充N₂系统是由外围的N₂管道直接通到加热系统内部，从而保证了热风空气的洁净度，惰性气体N₂可以进一步避免在热风干燥过程中硅片被氧化的可能性。

本实用新型用于多晶槽式制绒设备酸洗后先经过慢拉干燥，基本干燥完毕，再经过热风干燥使硅片出料时完全达到洁净、干燥的效果。该系统与国内外各厂家热风干燥系统不同的是在热风系统里加有充氮气装置并与设可调排废气装置使热风空气保证更高的洁净空气，并具有停机保护发热管的功能，可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隐患。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例结构示意图；

图中：1、加热系统封闭箱体；2、热风循环动力系统；3、加热系统；4、净化系统；5、烘干主槽；6、充N2系统；7、排废气装置；8、自动盖；9、汽缸。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明，以下的描述仅用于理解本实用新型技术方案之用，不用于限定本实用新型的范围。

本实用新型提供一种用于多晶槽式制绒设备的热风干燥系统，如图1所示，在该系统的一个实施例中，包括热风循环动力系统2、加热系统3、烘干主槽5、净化系统4、充N₂系统6。

热风循环动力系统2、加热系统3、净化系统4均位于加热系统封闭箱体1内，该箱体上方设有排废气装置7，从而避免废气残留在箱体内部造成循环利用，加大净化系统4的工作强度使其老化速度过快，也会给硅片干燥时使用的热风洁净程度带来一定程度的影响，造成硅片表面污染影响硅片质量；热风循环动力系统2进风口直接与烘干主槽5的回风系统相连，出口与加热系统3的进口直接相连；加热系统3位于热风循环动力系统2的前方，出口直接与净化系统4的进口相连；净化系统4位于加热系统2的前方，出口直接与烘干主槽5的循环进口相连；烘干主槽5直接固定在机器大槽内部，进风口与净化系统4的排风口相连，回风口直接与热风循环动力系统2的进风口相连，其上部设有自动盖8，在烘干主槽5工作时自动盖8关闭，降低热风温度下降速度达到节能效果，此自动盖有气缸9自动控制，避免人工操作的安全隐患；汽缸9直接固定机器大槽外壁上；充N₂系统6是由外围的N2管道直接通到加热系统2内部。

进一步的，所述加热系统封闭箱体1上方设有排废气装置7。

本实用新型工作时：机械手从慢拉装置取出带硅片的花篮，当烘干主槽5自动打开自动盖8时，机械手迅速把花篮放进烘干主槽5内，当机械手离开烘干主槽5后，自动盖8马上关闭，正常工作时热风循环动力系统2、加热系统3、充N₂系统6是一直打开，温度控制在70℃-88℃度范围内，烘干时间到达后自动打开自动盖8，由机械手取放到下料处。