[实用新型]用于多晶槽式制绒设备的补液系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体技术领域中的制绒设备，具体地说，涉及的是一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统。

背景技术

制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀，形成微沟，降低硅片表面的反射率，促使太阳在硅片表面进行多级反射，提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备工艺中，制绒工艺是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分，也是提高太阳能电池转换效率的重要途径之一。

在太阳能电池迅速发展应用的今天，对于目前占主要市场的晶体硅太阳能电池，未经表面处理的发射率一般超过30％，经过碱液等各向异性化学腐蚀形成表面微米级随机金字塔结构绒面后单晶硅电池表面发射率可以降到10％，多晶硅电池由于表面晶粒的晶向差异，目前普遍采用的各向行化学腐蚀只能将发射率降低到20％。

现有技术中，制绒设备的补液系统存在药液不稳定，从而会导致产品的不一致性，降低了效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供了一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，该系统可以大大提高效率，确保药液的稳定性，达到在无人为干扰的情况下制绒效果的一致性。

为实现以上目的，本实用新型提供了一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，该系统包括原液箱、管路系统、称量槽、混液槽、隔膜泵、流量计、气控阀。原液箱与分别称量槽、混液槽连接，称量槽、混液槽相连，其中原液箱与称量槽之间依次设有隔膜泵、管路系统，原液箱与混液槽之间设置气控阀；称量槽、混液槽相连，两者之间设有流量计。

本实用新型中，原液箱作为储液系统，出口经过泵、流量计、气控阀进入混液槽内，通过流量计及气控阀来控制加液的精确性，从而确保混液槽内部的药液浓度的稳定性，完成初补液操作。初补主要针对第一次补液对药液的需求量大而定制的，进而缩短补液时间，使设备在开启后可以迅速进入生产状态、提高效率。

本实用新型中，称量槽在制绒设备内部，后排风的旁边，出口经过气控阀、流量计进入反应槽内，通过流量计、气控阀确保每次补液的一致性(保证偏差在1％左右)，完成精补液操作。精补液操作主要是针对每次反应消耗药液的补充作用，这些消耗很少，间隔时间充足，精确度高，确保补液的精确性。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例结构示意图；

图中：1、原液箱；2、管路系统；3、称量槽；4、混液槽；5、隔膜泵；6、流量计；7、液位感应器；8、气控阀。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明，以下的描述仅用于理解本实用新型技术方案之用，不用于限定本实用新型的范围。

本实用新型提供一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，如图1所示，在该系统的一个实施例中，包括原液箱1、管路系统2、称量槽3、混液槽4、隔膜泵5、流量计6、气控阀8。原液箱1与分别称量槽3、混液槽4连接，其中原液箱1与称量槽3之间依次通过隔膜泵5和管路系统2连接，原液箱1与混液槽4之间通过气控阀8连接，称量槽3、混液槽4之间通过流量计6连接。

进一步的，所述原液箱1设有液位感应器7；所述称量槽3也设有液位感应器，液位感应器测量液体的位置并将信息反馈给控制系统进行报警提示。

较佳的，所述液位感应器7可以采用光电液位感应器。

本实施例的系统工作时，分为一下两个操作：

(1)初补液操作：在控制系统的操作界面上设定好所需的数据(单位：升)按确认药液通过隔膜泵5从原液箱1经流量计6、气控阀8后到称量槽3和混液槽4，配液时混液槽4和称量槽3只有一个流量计6，补液时只能执行一组，补完后再执行另一组。但不分先后次序补液。

(2)精补液操作：在控制系统的操作界面上设定好所需的精补液数据(单位：升)按确认药液通过自身重力从称量槽3经气控阀8后到混液槽4，自动补液时系统收到补液信号自动补充药液，但称量槽4也会自动根据消耗的药液自动补充药液。原液箱1和称量槽3都设有光电液位感应器7，欠液时返溃给控制系统报警提示。

本实用新型通过流量计控制隔膜泵、阀门定量补充药液，可以定量控制药液加入量，保证工艺浓度要求，将药液浓度始终保证在工艺曲线范围内，从而保证了产品的一致性。本实用新型可以大大提高效率，确保药液的稳定性，达到在无人为干扰的情况下制绒效果的一致性。