[实用新型]半导体炉管机台加热器有效
| 申请号： | 200920209921.3 | 申请日： | 2009-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN201533421U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/64 | 分类号： | H05B3/64;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 炉管 机台 加热器 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体炉管机台加热器，其特征在于，包括多根平行设置的电阻丝，所述每根电阻丝上设置有多个支撑绝缘陶瓷，其中，相邻两根电阻丝上的多个支撑绝缘陶瓷交错排列。
2.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于，同根电阻丝上的多个支撑绝缘陶瓷彼此之间具有相同的距离。
3.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于，所述支撑绝缘陶瓷与电阻丝之间具有预留延伸空间。
4.一种半导体炉管机台加热器，其特征在于，包括垂直安装的波浪形电阻丝，所述波浪形电阻丝上设置有多个支撑绝缘陶瓷，其中，所述多个支撑绝缘陶瓷设置于波浪形电阻丝的波峰和波谷。
5.根据权利要求4所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于，所述支撑绝缘陶瓷与电阻丝之间具有预留延伸空间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200920209921.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种节能与长寿命的锌挥发回转窑
- 下一篇：一种球状物烘干装置
