[实用新型]旋转双光楔激光微孔加工装置

权利要求书

1.一种旋转双光楔激光微孔加工装置，其特征在于，它包括：由激光器、扩束镜及激光传输系统组成的超短脉冲的激光输出系统，由两个光楔、双光楔支承旋转机构及控制系统组成的双光楔光束偏转系统，由一个激光聚焦镜组及调焦机构组成的激光聚焦系统，由加工件安装机构及二维位移平台组成的加工件吸附定位位移系统和计算机系统；由激光器(1)发出的激光束即入射光经由扩束镜(2)和由光路传导和反射镜(3)组成的激光传输系统的传输至双光楔光束偏转系统的双光楔支承旋转机构(4)处，经双光楔支承旋转机构(4)中的相互平行放置并与入射光轴垂直的两个相同的第一光楔(13)和第二光楔(19)偏折后，由激光聚焦镜组(20)会聚获得聚焦光束于二维位移平台(6)上的加工件(5)上。

2.根据权利要求1所述的旋转双光楔激光微孔加工装置，其特征在于，所述的双光楔支承旋转机构(4)包括电机(8)、电机座(9)、第一同步带轮(10)、同步齿形带(11)、第二同步带轮(12)、第一光楔片(13)、光楔主动旋转体(14)、第一光楔支承座(15)、离合器(16)、光楔从动旋转体(17)、第二光楔支承座(18)、第二光楔片(19)、聚焦透镜组(20)和聚焦透镜组座(21)，电机座(9)、第一光楔支承座(15)和第二光楔支承座(18)及聚焦透镜组座(21)均固定在调焦机构(7)上；两个相同的第一光楔片(13)和第二光楔片(19)分别胶合在光楔主动旋转体(14)和光楔从动旋转体(17)里；电机(8)固定在电机座(9)上，第一同步带轮(10)安装在电机(8)的轴上，另一个相同的第二同步带轮(12)安装在光楔主动旋转体(14)上，第一、第二同步带轮(10)和(12)通过同步齿形带(11)连接，光楔主动旋转体(14)固定在带有轴承的第一光楔支承座(15)上，光楔从动旋转体(17)固定在带有轴承的第二光楔支承座(18)上，光楔主动旋转体(14)和光楔从动旋转体(17)通过离合器(16)同轴联接。

3.根据权利要求1所述的旋转双光楔激光微孔加工装置，其特征在于，所述的激光器为一台输出纳秒级脉冲平行光的DPSS固态激光器。

4.根据权利要求1所述的旋转双光楔激光微孔加工装置，其特征在于，所述的计算机系统中装有运动控制卡。