[实用新型]适用于清洗上电极的工具无效
| 申请号： | 200920210631.0 | 申请日： | 2009-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN201728588U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈宁;刘贤 | 申请（专利权）人： | 上海宏科半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B55/00;H01L21/70 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适用于 清洗 电极 工具 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于清洗上电极的工具，其特征在于，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。
2.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述阳极化铝密封面抛光夹具是由两片“口字右边少一竖”型聚丙烯板材以十字型形式焊接而成，采用四片三角形板材固定。
3.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述铝密封面抛光夹具分为上下两部分，上部分是由两片长方形聚丙烯板材以十字型形式焊接而成，下部分是一块圆形聚丙烯板材。
4.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述支撑上电极用的支撑架子是由两片“口字右边少一竖”型聚丙烯板材以十字型形式焊接而成。
5.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述孔洞冲压装置分为上下两部分，上部分是一个圆盘，在圆盘圆心处焊接一个进水管，在进水管下方焊接一个圆环，下部分是一个分淋盘。
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