[实用新型]便于测漏的钢瓶连接锁母

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种连接紧固件，尤其涉及一种便于测漏的钢瓶连接锁母。

背景技术

在半导体生产工艺中，对于用于储存和供应特殊高纯气体的钢瓶需求量比较大。这些特殊气体有氯气、磷烷、三氟化氮和氨气等四十余种。这些特殊气体往往具有毒性或腐蚀性或易燃性。随着半导体生产规模的不断扩大，瓶装特殊气体的用量也随之上升。

现在，向生产部门供应特殊气体的方法是：分别将两个相同种类的气体钢瓶装在专用的同一个气瓶柜中，其中一个气瓶供气，另一个气瓶备用。当供气钢瓶内的气体用完时，该气瓶柜根据预先设定的工作程序可以自动停用用空的钢瓶，同时切换成备用的满钢瓶来继续供气。从而实现了连续供气的目的。随后，气体供应操作人员可以按操作规程将空钢瓶拆下，再换上满钢瓶做备用。如此，周而复始的供气以满足生产要求。

目前，更换特殊气体钢瓶已成为气体供应操作人员的主要日常工作，同时这也是很容易出现误操作的工作环节。其中通过锁母联接好钢瓶螺纹接头和供气管路接头避免泄露非常关键。现在特殊气体钢瓶螺纹接头与供气管路接头的联接是采用标准接头联接方式，它在钢瓶螺纹接头的接口与供气管路接头的接口之间装一个专用不锈钢垫片。该不锈钢垫片在钢瓶锁母紧固时，与钢瓶螺纹接头的接口和供气管路接头的接口相接触产生塑性变形而起到密封接口的作用。为了保证钢瓶螺纹接头与供气管路接头的连接处不泄露，每次更换钢瓶后，都要将钢瓶螺纹接头和供气管路接头接头内的管路通入85psi压力(合0.583兆帕)的氦气，再用专用的氦气测漏仪进行对钢瓶螺纹接头和供气管路接头接头的连接处进行测漏。

目前，钢瓶螺纹接头与供气管路接头之间的联接采用普通结构的锁母如图1和图2所示，由于是本领域公知技术，所以锁母不展开描述。而没有专为氦气测漏提供便捷条件的锁母。测漏的时候，氦测漏仪探头只能在锁母的两侧端面进行测量。倘若钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处存在气体泄露，泄露气体会缓慢地从现有锁母的两侧端面漏出。现行的测漏方法是：每次让氦测漏仪探头在锁母两侧断面停留至少2分钟以上，等待泄露气体从锁母的两侧断面选出。这种测漏方法不但耗时长、效率低，而且还经常出现误检测的现象，测漏准确性非常低。而一旦在使用中发生钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处发生漏气，必定会关闭设备，导致生产停顿，甚至造成人员伤害的安全事故。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于测漏的钢瓶连接锁母，可以方便对钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处进行测漏操作，而且还可以提高测漏效率和测漏准确性。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种便于测漏的钢瓶连接锁母，所述锁母的一端与所述钢瓶螺纹接头连接，另一端与供气管路接头连接，所述锁母的周壁内表面设有环形集气沟槽，所述锁母的周壁上至少设有一个与所述环形集气沟槽相通的通气孔。

所述环形集气沟槽设置在锁母内的内螺纹的收尾处。

所述通气孔有2-4个。

所述通气孔沿环形集气沟槽圆周方向均布在所述锁母的周壁上。

所述通气孔有3个。

所述钢瓶螺纹接头和供气管路接头采用垫片密封连接。

所述垫片是不锈钢垫片。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁母在锁母内部设置环形集气沟槽和通气孔。当更换完特殊气体钢瓶需要进行氨气测漏时，如果钢瓶螺纹接头与供气管路接头的连接处有漏气现象，由于环形集气沟槽相对锁母的两侧端面与密封面更加接近，且环形集气沟槽通过通气孔连接到室外大气，所以环形集气沟槽内的压强相对比较小，所以漏出的气体会马上汇集到环形集气沟槽内，并通过通气孔排出。因此，将氦测漏仪探头放在任意一个通气孔，就可以很方便地捕捉到泄露的氦气，提高了测漏效率，而且可以提高测漏的准确性。通过提高测漏的准确性，可以从根本上消除了因钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处发生泄露而关闭设备，以致影响生产，甚至造成人员伤害的安全事故发生。

附图说明

本实用新型的便于测漏的钢瓶连接锁母由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的钢瓶连接锁母的结构示意图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁母的结构示意图；

图4是图1的B-B剖视图；

图5是本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁的使用状态示意图；

图中，1-锁母，11-环形集气沟槽，12-通气孔，2-供气管路接头，3-钢瓶螺纹接头。

具体实施方式