[实用新型]用于支撑硅片的工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池的制作工具，尤其涉及一种在连续式微波增强等离子化学气相沉积设备中所使用的载片舟上用于支撑硅片的工装。

背景技术

太阳电池作为新兴的清洁可再生能源，因具能直接将太阳能转换为电能，且具有寿命长、维护简单、可实现无人值守等优点而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。

PECVD(增强等离子体化学气相沉积)工艺是晶体硅太阳电池生产过程中的关键工序，在PECVD工艺中，需要使用一种工装将硅片腾空支撑起，以便硅片的朝下面被沉积上一层氮化硅薄膜。此工装与硅片接触的点需尽量小，即被遮挡的不能沉积上氮化硅薄膜的面积需尽量小，这样对太阳电池的效率提升有益。但由于硅片与支撑钩接触面积小，又带来硅片表面的接触点受到的压强过大，会造成该处硅片表面容易受到损伤，以致碎片率升高。所以此类工装又要求硅片表面不受到太大的损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的，就是为了解决上述问题，提供一种用于支撑硅片的工装。

为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：一种用于支撑硅片的工装，包括一个U形体，在U形体的一角延伸有一个支撑钩，该支撑钩的钩尖朝向侧上方并且高于该侧U形体边线的下端点。

所述的支撑钩的钩尖呈圆弧形。

本实用新型的用于支撑硅片的工装用作增强等离子化学气相沉积设备所使用的载片舟上支撑硅片，四个一组使用，将硅片置于四个支撑钩上，满足接触面积小，又不会损伤硅片的双重要求。

附图说明

图1是本实用新型用于支撑硅片的工装的结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型用于支撑硅片的工装，包括一个U形体1，在U形体1的一角延伸有一个支撑钩2，该支撑钩的钩尖21朝向侧上方该支撑钩的钩尖朝向侧上方并且高于该侧U形体边线的下端点11。支撑钩的钩尖21呈圆弧形。

本实用新型用于支撑硅片的工装四个一组组合使用，使用时，将硅片平放于四个工装的四个突出的支撑钩上，使硅片两侧各有2个支撑钩，如此硅片可以非常稳当地置于支撑钩上。由于将支撑钩与硅片接触的钩尖设计成圆弧形，从而改善了碎片率较高的问题，并且与硅片接触的面积也较小。