[实用新型]用于化学品存储罐的液位计

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种液位计，特别是涉及一种用于化学品存储罐的液位计。

背景技术

在集成电路制造领域，在某些工艺步骤后，通常会在晶圆表面留下污染物，所述污染物包括有机化合物、金属杂质或颗粒等，这些污染物对于产品后续工艺的影响非常大。例如，颗粒的附着会影响光刻工艺图案转移的真实性，甚至会造成电路结构的短路。因此，在半导体器件制造过程中，除了要排除外界的污染源外，还需要频繁的进行晶圆清洗工作，所述晶圆清洗工作是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上的污染物，避免这些污染物影响后续制程的进行，并防止清洗机台与其它晶圆受到这些污染物的污染。

在晶圆清洗过程中，需要经常使用去离子水，所述去离子水的pH值必须确保在合格范围内，以确保晶圆的清洗效果。因此，在利用纯水设备处理去离子水的过程中，需要向去离子水内添加浓硫酸，以调节去离子水的pH值。一般的，所述浓硫酸是被存储于硫酸存储罐中，为了确保硫酸存储罐内的硫酸量符合要求，需要定期查看硫酸的液位。目前，硫酸存储罐被放置在半导体生产厂的化学品区内，为了确保安全性，该化学品区通常用塑料门帘与其它区域隔离，因此该化学品区的光线比较差，并且硫酸存储罐并没有设置液位计，导致工作人员每次检查硫酸存储罐的液位时，必须带上笨重的防护面具，再打开硫酸存储罐的盖子，借助手电筒的光亮，来查看硫酸存储罐内的硫酸液位。

然而，这种查看硫酸液位的方式不仅非常费时费力，给工作人员人员检查硫酸液位带来了不便，且操作人员需要打开硫酸储管的盖子，具有强腐蚀性和刺鼻的味道的硫酸极有可能溅射到操作人员身上，威胁操作人员的人身安全，此外，操作人员在打开硫酸存储罐时也有可能将其身体上的金属离子带入到硫酸存储罐内，使得硫酸被污染。

为了解决上述问题，业界曾尝试在硫酸存储罐上安装几种常见的液位计，如超声波液位计或压力式液位计，但是这两种液位计的成本很高，不适用于小型的化学品存储罐，例如上述提到的硫酸存储罐；为了降低液位计的成本，业界也曾考虑在硫酸存储罐上安装浮球式液位计或联通液位管式液位计，然而，这两种液位计的成本虽然较低，但是却不耐酸碱腐蚀，并不适用于高浓度的化学品存储罐。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于化学品存储罐的液位计，该液位计成本低，可为操作人员检查液位提供便利，并可确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于化学品存储罐的液位计，包括：浮球，设置于所述化学品存储罐内；浮杆，其一端与所述浮球固定连接，其另一端自由伸出到所述化学品存储罐外；其中，所述浮杆表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，通过所述颜色来判断存储在所述化学品存储罐内的化学品的液位。

可选的，所述化学品存储罐是硫酸存储罐，所述化学品存储罐上设置有与所述浮杆尺寸匹配的开口，所述浮杆的另一端经所述开口自由伸出到所述化学品存储罐外。

可选的，所述浮球表面涂有聚四氟乙烯膜。

可选的，所述浮杆表面涂有聚四氟乙烯膜。

可选的，所述浮杆表面划分为三段。

与现有技术相比，本实用新型所提供的用于化学品存储罐的液位计仅包括浮球以及浮杆两部分，结构简单，成本低廉，其中，所述浮杆的一端与浮球固定连接，所述浮杆的另一端则自由伸出到化学品存储罐外，所述浮杆表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，因此，操作人员无需打开化学品存储罐的盖子，仅通过观察伸出到化学品存储罐外的浮杆的颜色，即可判断存储在化学品存储罐内的化学品的液位，非常省时省力，为操作人员检查液位提供便利，并确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计的使用示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。