[实用新型]一种双频激光干涉仪的光纤准直器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种双频激光干涉仪的光纤准直器。 

背景技术

双频激光干涉仪是利用光的干涉原理，以光波长为度量尺度进行位移测量的设备，它具备分辨率高，抗干扰能力强，可重复性好，大量程，高速度，非接触等优点，因此广泛应用于微电子制造，精密机床加工，坐标校准和定位等各种需要精确位移测量的高端领域。简单来说，用双频激光干涉仪测量位移的原理为：两束相干光在空间相遇，就可以产生干涉条纹，如果其中的一束光相位不变，通过检测干涉条纹的变化就可以检测出另一束光的相位变化，进而由相位变化计算出的反射镜的微小位移。 

早期的或者应用于低精度领域的双频激光干涉仪的光纤准直器和光电接收器是在一起的，这就导致光电接收器散热对测量区域的空气产生扰动，引起测量误差。Hewlett-Packard的Leonard S.Cutler曾提出将无源光纤准直器和有源光电接收器分离，中间用光纤连接，使可以散热的有源光电接收器远离测量区域，从而消除发热问题而导致的测量误差(专利号4,784,489)。然而其设计在实际应用中却存在重大问题。由于其前端的无源光纤准直器直接与干涉仪相连，这就意味着对于不同的干涉仪机械接口，则需要不同光纤准直器，无疑降低了产品的通用性，从而提高了产品的成本。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是现有技术中光纤准直器的通用性不够，不利于双频激光干涉仪的应用。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种双频激光干涉仪的光纤准直器，与光纤相连，包括固定座、定位销、透镜、偏振片和FC/PC型光纤适配器；所述固定座包含有一通孔和一键槽；所述透镜设置于所述通孔一端，所述FC/PC型光纤适配器设置于所述通孔另一端，所述偏振片设置于所述通孔中所述透镜和所述FC/PC型光纤适配器之间；所述定位销设置于所述键槽中，固定所述FC/PC型光纤适配器；所述双频激光通过所述透镜后被所述偏振片混合并产生调制光信号，最后进入与所述FC/PC型光纤适配器相连的光纤中。 

其中，所述透镜为消色散透镜、GRIN透镜、球面透镜、非球面透镜、单凸透镜、双凸透镜其中之一。 

所述偏振片粘接在所述FC/PC型光纤适配器上。所述透镜和所述FC/PC型光纤适配器粘接在所述固定座上。 

所述固定座中还包括与所述通孔平行或垂直的多个安装面，满足了不同的接口需求。所述固定座中还包括锁紧螺丝孔，用于锁紧所述透镜和所述FC/PC型光纤适配器。所述固定座还包括定位孔。 

所述FC/PC型光纤适配器包含一偏振片晶轴定位面，位于键槽中的定位销垂直偏振片晶轴定位面，保证偏振片的晶轴方向。 

本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下优点和积极效果： 

1、本实用新型的FC/PC型光纤适配器采用FC/PC接口，从而在结构上保证该光纤准直器可以与目前光纤跳线接口兼容； 

2、本实用新型的固定座包括与通孔平行或垂直的多个安装面，满足了不同的接口需求； 

3、本实用新型采用消色差透镜，并且对光纤准直器的数值孔径NA进行恰当设计，使得该光纤准直器可以与芯径300um-1000um的光纤相匹配，从而保证光纤选择的极大灵活性。 

总之，本实用新型提供的一种双频激光干涉仪的光纤准直器，通用性强，结构紧凑，在满足超精密激光干涉测量要求的同时，可以实现低成本批量生产。 

附图说明

图1A是本实用新型实施例的光纤准直器的主视图。 

图1B是本实用新型实施例的光纤准直器的A-A′剖面示意图。 

图2A～图2C是本实用新型实施例的固定座的结构投影示意图。 

图3A是本实用新型实施例的FC/PC型光纤适配器的主视图。 

图3B是本实用新型实施例的FC/PC型光纤适配器的右视图。 

图3C是本实用新型实施例的FC/PC型光纤适配器B-B′剖面示意图。 

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。 

图1A是本实用新型实施例的光纤准直器的主视图。图1B是本实用新 型实施例的光纤准直器的A-A′剖面示意图。结合图1A和图1B可知，本实施例的光纤准直器包括固定座11，定位销12，透镜13，偏振片14和FC/PC型光纤适配器15。